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日本kurabo仓纺可见光液体成分浓度计中国代理店

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ChemicAlyzer是一种应用光的吸收原理,实现了在线设计连续测量的液体成分用浓度计。作为红外式液体成分浓度计的先锋事业开始了的1990年以后,把丰富的经验技术和技术做为武器,在持续进化的半导体器件的制造过程中,通过“呼应测量需求”支撑着质量和药液浓度管理。


今后也将灵活应对*先进的工艺和特殊药液,通过高精度的药液浓度测定,“与更进一步的测量需求相呼应”,继续为制造工艺的*优化做出贡献。




高质量
为每个测量对象选定*合适的波长,每台装置制作一条校准线。
提供检验考试合格、机差少的稳定产品。

02
高性能
ChemicAlyzer是一种响应性和分辨率都很好的高性能浓度计。
分解激烈的成分的微小的变化也不放过的浓度控制成为可能。

03
高耐久性
为长期的运行成本削减做出贡献。
10年以上的支持,有使用的实绩。
液晶面板制造工序
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基板制造工序
水晶振子制造工序
・抗蚀剂剥离液的浓度管理
・回收药液的浓度管理
・后工序用药液的浓度管理
·酸碱类清洗液的浓度管理
·氧化膜·氮化膜蚀刻液的浓度管理
・其他特殊药液的浓度管理
另外,在电池材料制造工序和日本酒·食醋的发酵度测定等广泛的业界也被采用。
高性能的测量技术被评价,在国内和东亚,美国有3000台以上的实际成果!


日本kurabo仓纺可见光液体成分浓度计中国代理店基本仕様

測定方式 近赤外線透過分光方式
*小測定時間 2秒
測定値出力 DC4-20mA
入力信号 トランジスタ電流駆動入力(測定、校正、暖機終了ほか)
出力信号 オープンコレクタ出力(READY、BUSY、装置異常、測定中、成功、上下限警報ほか)
接液部材質 石英セル仕様:PFA、PTFE、⽯英(セル)、パーフロ(Oリング)
サファイアセル仕様:PFA、PTFE、サファイア(セル)、カルレッツ(O リング)
使用*高圧力 0.2MPa
配管口径 IN:Φ3 × Φ2 OUT:Φ4 × Φ3(mm)チューブ各1m付属

日本kurabo仓纺可见光液体成分浓度计中国代理店薬液一覧表

主な用途 成分1 成分2 成分3 備考 通称 高精度型推奨 要特殊波長対応
半導体 NH3 H2O2 APM、SC1
HF
HF 希薄 DHF
H2SO4 H2O2 SPM
HF H2O2 FPM
HF H2O2 希薄 FPM
HF HCl
HF H2SiF6
HCI H2O2 HPM、SC2
KOH H2O2
NaOH H2O2
H3PO4
HF NH4F
HF HNO3
HF H2O2 CH3COOH
液晶 TMAH 現像液
H3PO4 HNO3 CH3COOH エッチング
H2SO4 H2O2 Cu エッチング
H2O アミン 溶剤 レジスト剥離
その他 IPA
H2O 有機溶剤中微量水分
CH3COOH C2H5OH 食酢
C2H5OH グルコース 日本酒

※光学式を採用しており、光が透過しない不透明な薬液の測定は対応できません。
その他薬液にも対応可能ですので、お気軽にお問い合わせください。