嵌入型
UNECS 系列
UNECS-1M
ULVAC特点
高速測定：
独特的快照方法可实现高达20 ms的高速测量。
适用于可见光谱：
波长范围可选标准类型（530nm至750nm）和可见光谱类型（380nm至760nm）。
紧凑型传感器单元：
光发射和接收的传感器仅由没有旋转机构的光学部件组成，因此非常轻且紧凑，并且不需要定期维护。
丰富的产品阵容：
产品阵容应用广泛，包括如独特的便携类型，手动/自动平台类型，大型基板类型，以及支持大气/真空环境的内置类型。
用途
透明或半透明薄膜（氧化膜，氮化膜，抗蚀剂，ITO等）的膜厚，折射率，消光系数的测量
规格
波长范围 530 ～ 750nm、380 ～ 760nm（选择）
点径 Φ1mm、Φ0.3mm（选择）
入射角度 70o固定
膜厚再现性 1σ = 0.1ｎｍ
膜厚范围 1nm ～ 2μｍ
测量时间 受光：20ms ～ 3000ms 演算：300ms
平台 固定类型（Φ150mm以下、可拆卸）
控制PC 笔记本类型（带操作/分析软件）
机器构成 测量本体（带固定台）、控制器BOX、光源单元
操作PC（笔记本型）、使用说明书（CD）