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Hitachi Metals质量流量控制器,气体流量计

Hitachi Metals质量流量控制器,气体流量计

Hitachi Metals
质量流量控制器是在半导体生产线中的成膜、蚀刻等供气系统中紧密控制气体流量的装置。本公司的产品在阀门上搭载使用自己开发的Ni-Co合金的波形隔膜,对于流体接触的所有部分采用了金属密封的洁净结构,结合各种用途备齐了丰富的产品系列。今后,我们也将为应对不断发展进步的半导体工艺的要求,推出高性能数字质量流量控制器,为半导体的制造技术的发展做贡献。



Aera

 Mass Flow Controllers Aera® FC-R7700 series(PDF格式)  

  Mass Flow Controllers Aera® FC-R7800 series(PDF格式)  

  Digital Mass Flow Products Aera® Transformer®(PDF格式)  

  Pressure Insensitive (PI) Mass Flow Controller Aera® HG200 series(PDF格式)  

 

  Pressure controller EPC100 series

  Vaporizer AS series

SAM

Mass Flow Controllers SAM® SFC1480/2480FX sereies (Preparing Catalog) 
  Mass Flow Controllers SAM® 1480/2480G series (Preparing Catalog) 
  Mass Flow Controllers SAM® PS200 series (Preparing Catalog)