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Hitachi Metals, Ltd 日立金属株式会社:半导体流量计

Hitachi Metals, Ltd 日立金属株式会社:半导体流量计

Hitachi Metals, Ltd 日立金
属,成立于1910年,主要制品有金属材料,磁性材料,电源开关,流量计等产品系列

流量计型号SAM SFC280E. SFC380 SAM SFC1480FX/SFC2480FC等型号
致力于研究和生产用于先进工艺的流体控制/测量产品,产品主要包括质量流量控制器(MFC),质量流量计(MFM),材料蒸发系统(Vaporizer)等,并在这些领域内始终处于国际**地位。公司位于高新科技园长城计算机集团院内,位置优越,环境优美,交通便利,现代化的办公楼及厂房设施,1000平方米的全空调无尘生产车间,为每一位公司员工提供了轻松、愉悦的工作环境。


Hitachi日立金属半导体流量计:

Hitachi日立金属质量流量控制器是在半导体生产线中的成膜、蚀刻等供气系统中紧密控制气体流量的装置。本公司的产品在阀门上搭载使用自己开发的Ni-Co合金的波形隔膜,对于流体接触的所有部分采用了金属密封的洁净结构,结合各种用途备齐了丰富的产品系列。今后,我们也将为应对不断发展进步的半导体工艺的要求,推出高性能数字质量流量控制器,为半导体的制造技术的发展做贡献。


Hitachi日立金属流量计:又分为有差压式流量计、转子流量计、Hitachi日立金属节流式流量计、细缝流量计、Hitachi日立金属容积流量计、电磁流量计、超声波流量计等。按介质分类:液体流量计和气体流量计。常用的流量计中,如孔板流量计、层流质量流量计、涡轮流量计、涡街流量计、Hitachi日立金属电磁流量计、转子流量计、超声波流量计和椭圆齿轮流量计等的流量测量值是流体的体积流量。


Hitachi日立金属流量计Aera®
  Mass Flow Controllers Aera®Hitachi日立金属 FC-R7700 series(PDF格式)  
  Mass Flow Controllers Aera® Hitachi日立金属FC-R7800 series(PDF格式)  
  Digital Mass Flow Products Aera® Hitachi日立金属Transformer®(PDF格式)  
  Pressure Insensitive (PI) Mass Flow Hitachi日立金属Controller Aera® HG200 series(PDF格式)  
  Pressure controller EPC100 series
  Vaporizer AS series

Hitachi日立金属流量计SAM®
  Mass Flow Controllers SAM® Hitachi日立金属SFC1480/2480FX sereies (Preparing Catalog) 
  Mass Flow Controllers SAM® Hitachi日立金属1480/2480G series (Preparing Catalog) 
  Mass Flow Controllers SAM® Hitachi日立金属PS200 series (Preparing Catalog) 

                                                                                        Hitachi Metals, Ltd 日立金属株式会社:半导体流量计代理商