Mikasa Co.， Ltd. 作为一家对社会有贡献且值得信赖的公司，开发和销售半导体制造设备、检查和测量设备。 通过这一点，我们将努力保护环境和减少环境影响，以成为一家环保型公司为目标，我们将做出以下努力。我们将努力保护地球环境、防止污染和保护环境，并不断改进我们的环境管理体系。我们将遵守与环境相关的法律法规，以及我们同意的其他要求，以及我们选择的要求。我们将系统地采取行动，以实现我们的环境目标。 此外，我们将定期审查我们的环境目标。在我们的业务活动中，我们将努力节约资源和能源，减少对环境的影响，并保护环境。为了遵守本环境政策，我们将努力对所有董事和员工进行彻底的教育。我们将在内部和外部披露此环境政策。
Mikasa Co.， Ltd.
总裁 Yasuhiro Asano
PCB的常见问题
1.在*大样品量下，可以使用多厚的基材？
至于厚度，每个型号的*大兼容板尺寸假设为 2 mm 左右。 如需厚度为 2 mm 或更大的电路板，请联系我们。
2.是否可以将旋涂机应用于硅晶片以外的物体？
我们在玻璃、胶片、镜头、光盘等方面都有良好的记录。
3.关于电路板的定心方法。
由于样品台的制造使其与基板的尺寸相同，因此如果外部形状匹配，则可以对中对于 MS-A100 以外的型号，可选择对中夹具（对接）。
4.在旋涂过程中，我在绕过电路板背面时遇到问题。 有没有对策？
它可以通过反冲洗来处理。 虽然它是一个可选机制，但 MS-B150、MS-B200 和 MS-B300 可以支持它。 请联系我们了解详情。
5.可以涂覆水溶性溶剂吗？
还有与基材的粘附问题，因此请先与我们联系。
6.在将光刻胶涂到基材上之前，需要做什么吗？
● HMDS 处理：通用。 这是一种使晶片表面疏水的处理。
● 通过蚀刻去除氧化膜：这是用强酸在晶片上蚀刻氧化硅膜的过程。
● 准分子处理：这是一种通过去除基板表面的有机物并利用短波长紫外线能量和产生的臭氧对表面进行亲水处理来提高玻璃基板表面附着力的处理。
样品架（卡盘支架）
1.是否有标准的样品台（卡盘支架）？ 交货时间是多长时间？
提供 MS-B100、MS-B150 和 MS-B200 的标准样品架。 如果尺寸不符合标准样品表，我们将根据基材尺寸建议样品台。 它也可以与 MS-A 系列一起使用。 标准样品台的交货时间约为一周。
有关样品台类型的详细信息， 请联系我们了解详情。
2.哪些类型的样品架（卡盘支架）可以与可用于方形 （□） 和圆形 （Φ） 以外的基材的旋涂机一起使用？
我们还拥有生产用于切割基板、变形基板、薄膜、载玻片和圆盘的样品架（卡盘支架）的记录。 我们将根据客户使用的基板尺寸引导您前往样品台（卡盘支架）。 请随时与我们联系。
3.将基板固定在旋涂机的样品台（卡盘支架）中的方法是什么？
基本方法是真空吸附。
还有沟式和小孔型吸附法。 我们根据基板的形状、厚度和薄膜厚度等信息提出建议。
也可以使用机械卡盘方法，但在这种情况下，不能使用真空联锁功能。
此外，我们根据您的愿望和应用，提出了一种不吸附中心的外周吸附方法、O 形圈吸附方法等。
4.旋涂机样品台（卡盘支架）有哪些不同类型的材料？
基本上，轴由 POM 制成，吸入表面由铝制成。
此外，还提供 POM 和 Teflon。
对于其他材料 [不锈钢、PEEK、PVC]，请随时与我们联系。
5.旋涂机的卡盘支架是否与所有型号兼容？
主机和样品架的插入直径因型号而异。 如果是后继型号，则兼容。
后续模型如下。
● 1H-D7 ⇒ MS-A100 ⇒ MS-B100
● 1H-DX2 ⇒ MS-A150 ⇒ MS-B150
● 1H-360S ⇒ MS-A200 ⇒ MS-B200
● MS-A300 ⇒ MS-B300
● 1H-700C ⇒ MS-A500
不同材质的样品台（卡盘支架）有哪些优缺点？
■ 由铝制成
优点：由于是金属，比树脂更容易加工，并且可以在吸附表面的表面精度（平整度）下进行加工。 此外，由于它是金属，因此具有出色的耐用性。 它可以以相对较低的成本生产。
缺点：由于其导热性高，在连续运行的情况下，电机产生的热量可能会影响薄膜的沉积。 由于比重比 POM 和特氟龙重，因此当比重变大时，会产生加减速性能下降等效果。
■ 由 POM 制成
优点：由于是*接近金属的树脂，因此具有良好的可加工性，并且易于达到表面精度（平整度）。 机械抗疲劳性。 由于它是一种接近金属的树脂，因此具有出色的耐用性和低导热性。 它比特氟龙便宜。
缺点： 它不耐丙酮等有机溶剂，易受热并膨胀。 与特氟龙相比，它的耐化学性较差。
■ 由特氟龙制成
优点：优异的耐化学性和对大多数化学品的抵抗力。 它还具有出色的耐热性，并且在应用以及不粘和低磨损方面用途广泛。
缺点：昂贵。 它在机械上很脆，容易受到冲击。 由于比重大，加减速性能降低。 比铝重。 与铝和 POM 相比，它更柔软，因此在表面精度（平整度）方面较差。
如何为旋涂机选择样品架（卡盘支架）的材料
■ 由铝制成
● 便宜的样品台。
● 如果您担心吸附面的表面精度。
■ 由 POM 制成
● 我不想损坏背面。
● 当使用的基板尺寸成为设备的 MAX 尺寸，样品台变得又大又重时。
● 如果您担心热传导。 （当溶剂高度挥发或受薄膜引起的温度变化影响时）
■ 由特氟龙制成
● 使用多种不同性能的涂料溶液。
● 使用有机溶剂。
● 我不想损坏背面。
● 热传导是一个问题。 （当溶剂高度挥发或受薄膜引起的温度变化影响时）
安装旋涂机需要哪些实用程序？
主机和真空泵都需要 100V 和 200V，具体取决于型号。 此外，如果安装了可选的滴水装置，则需要干燥空气和 N2（氮气）。
需要真空泵才能使用旋涂机吗？
您将需要一个真空泵，但如果您可以从工厂真空管路连接它，您就可以没有它。 此外，在机械卡盘式的情况下没有必要，在这种情况下无法使用真空联锁功能。 请联系我们了解详情。