以往的问题
端面采样描述
通过位置调整，使采样液不会被卷到旋转晶圆的正反面上。（已取得**）
日本有限会社NAS技研简易性微量金属污染物采用设备（NAC系列） NAC-302 NAC-304 NAC-316 ＜NAC系列的主要特点＞ ●对于硅晶圆，全自动地进**相分解→污染物采样→采样样品的稀释作业。 ●对于憎水性和亲水性晶圆二者都可以采样（端面采样**憎水性晶圆）。 ●对于大量晶圆有采样分析的需求时，本设备可以大显身手 ●拥有对于采样液的计量和稀释功能，一旦晶圆上有药液残留时可以防止作业继续进行。 ●独特的窗门双层结构，以防工作空间内的酸气氛和操作员一方的空气发生交叉污染。 ●具有自动清洗采样用支架具的功能，削减了手工操作（※表面和端面二种支架具都适用）。 另外，还有“基体蚀刻→晶圆污染物采样”全自动设备（NAC-304）。 并且，近几年来，为减少污染，对于“基体蚀刻→晶圆污染物采样→ICP-MS自动对接并进行元素分析”一气完成的需求日益高涨（NAC-316）。