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日本MIKASA株式会社/米卡萨中国现货代理


日本米卡萨MIKASA株式会社中国现货代理


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半导体制造工序中的Mikass半导体设备

为半导体制造工序提供支持的Mikasa


备齐光刻胶涂布、曝光、显影、蚀刻等半导体制造前段工序所需要的装置后,提供一站式服务。另外,为旋转涂膜仪的所有机型准备了替代用机,可在发生故障时尽早应对,且在销售后提供快捷周到的售后服务。针对研究过程中所发生的一系列问题,也可在现场提出解决建议。与客户共同探讨在哪个工序出现了问题、应如何改进等等,从而得出解决建议。Mikasa 作为一个可在半导体方面进行共同商谈的咨询顾问,不仅销售设备,而是为客户半导体制造的整体工艺流程


晶圆→洗涤(**晶圆表面的脏污及各种金属离子)→成膜(在高温扩散炉中,形成表面氧化膜)→光刻胶涂布(将光刻胶(感光材料)涂抹到晶圆表面,形成厚度均一的薄膜)→曝光(将光掩膜与晶圆重合,复制电路图案)→显影(去除曝光部位(正胶)的光刻胶)→蚀刻(通过腐蚀氧化膜来蚀刻电路)

日本MIKASA旋转涂膜仪SpinCoater.


光刻胶涂布/将光刻胶(感光材料)涂抹到晶园表面,形成厚度均一-的薄膜。






旋转涂膜仪
滴液装置可选组件 吸盘
●MS-B100/ MS-B150
●MS-B200
●MS-B300
●MS-B200 (密闭型)
●MS-B300 (密闭型)
日本MIKASA光刻机
●MA-10
●MA-20
●MA-60F
●M-2LF
●M-1S
日本MIKASA曝光,将光掩膜与晶园重合,复制电路图案。


日本MIKASA显影、蚀刻装置DeveloperEtching
去除曝光部位(正胶)的光刻胶。
●AD-1200
●AD-3000
●PD-1000

日本MIKASA蚀刻装置
蚀刻装置
●ED-1200
●ED-3000
日本MIKASA旋转涂布机MS-150
MIKASA 旋转涂布机 MS-A150/MS-B150 **现货
代理MIKASA旋转涂布机SpinCoater MS-B200
日本MIKASA旋转涂布机MS-A150/MS-B150 **现货



为半导体制造工序提供支持的Mikasa
备齐光刻胶涂布、曝光、显影、蚀刻等半导体制造前段工序所需要的装置后,提供一站式服务。另外,为旋转涂膜仪的所有机型准备了替代用机,可在发生故障时尽早应对,且在销售后提供快捷周到的售后服务。针对研究过程中所发生的一系列问题,也可在现场提出解决建议。与客户共同探讨在哪个工序出现了问题、应如何改进等等,从而得出解决建议。Mikasa 作为一个可在半导体方面进行共同商谈的咨询顾问,不仅销售设备,而是为客户半导体制造的整体工艺流程给出支持。

代 理日 本各类工业品:日本SAN-EI TECH三英,MUSASHI武藏,Nordson诺信EFD,IEI岩下,aicohsha爱工舍ACM(特殊立式搅拌机),KLEENTEK可滤特,ASAHIKASEI旭化成,TAGAWA十川,YODOGAWA淀川电机,MALCOM马康,USHIO牛尾,SHOWA DENKI昭和电机,TSUBAKI椿本,morite茉丽特,KIKUSUI菊水,HOZAN宝山,TRUSCO中山,cedar思达,MEISEI迈泽(电热剥线器)、SANKO山高(金属探测器、膜厚仪)、TAKASAGO高砂制作所 (直流电源)MITSUBISHI三菱 (UPS电源、PLC自动化)
CCS光源(视觉光源、检查光源)、Tsubosaka壶坂(灯箱、光度计、辉度箱、光源)、POLARION普拉瑞(探照灯、HID强光灯、检查灯)AITEC艾泰克(检查光源)、Iwasaki岩崎(金卤灯、HID灯、UV灯)
OTSUKA大塚电子(光学膜厚仪、相位差测试仪、粒度仪)、LUCEO鲁西欧(表面应力仪、偏光应力仪)
KYOWA共和(应变片、压力传感器)、ONOSOKKI小野测器(传感器、检测仪)
CKD(气动元件、电缸)、FUJIKURA藤仓(单向阀、泄压阀、摩擦气缸)
TOKISANGYO东机产业(粘度计)、ASKER高分子计器(橡胶硬度计、试验机)SK新泻精机(水平尺、水平测量仪器)SKSATO佐藤(温度计、温度记录仪)、上海一恒仪器 (恒温箱、烘箱、)、TECLOCK得乐(硬度计、千分表)、AND爱安得(电子天平、工业天平)、KEM京都电子(水分仪、自动电位滴定仪)
TOHNICHI东日(扭力扳手、螺丝刀)KANON中村(电动螺丝刀、扭力工具)
Heishin神兵(泵、点胶机)、KOKUSAN科库森离心机、YUASA汤浅(柔性屏弯折试验机)、
SIMCO思美高,SSD西西蒂,DIT东日技研,KASUGA春日,TRINC高柳(静电仪器设备)、Kanetec强 力(磁力设备、高斯计)
ASONE亚速旺(实验室仪器、车间穿戴装备)、SAKURAI樱井(无尘纸、热敏纸)、Nitto-Kohki日东工器(快速接头)、NIRECO 尼利可(电动执行器、传感器)