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日本YAMADA山田光学YP-150I半导体晶圆卤素光源装置
AMADA山田光学高亮度卤素光源装置YP-150I
高亮度卤素光源系统是一种宏观观察照明装置,用于检测*终成品表面的异物、划痕、抛光不均匀、雾霾、滑移等
各种缺陷,是半导体晶圆和液晶衬底加工过程中费力的。
日本YAMADA山田光学YP-150I半导体晶圆卤素光源装置特性如下:
1.样品表面可照射至400,000Lx以上。
2.采用卤素灯作为光源,所以色温高,照度不均匀,
导致照明非常稳定和锐利。
3.由于采用冷镜,热量的影响极
小,是常规铝镜的1/3。
4.两段式切换机制,让您一键切换
高照度观察和弱光观察。
YP-150I・・・照度范围φ30 YP-250I・・・照度范围φ60
YP-250可选择螺旋桨风扇型和管道风扇型。 )
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