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日本TORAY东丽 测量和分析设备


半导体和电子元件

半导体制造过程中的氧气污染对产品和产品的质量有重大影响。 因此，监测设备中大气气体的血氧仪对于前端和后处理都是必不可少的。
我们的血氧仪，尤其是即使在真空环境中也能进行测量的传感器分离产品，结合了强大的功能和节省空间，可实现超快速响应和多点测量，并被许多主要设备制造商使用。

氧化锆血氧仪

LD-450/SD 传感器
小于 10 页/分钟
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
负压/大气压
直流电源
模拟输出
串行通信输出
CE 标志
可节省安装空间
可选择模拟输出或串行通信输出
适用于真空环境
超快响应
使用具有
特殊涂层的高耐用性传感器

氧化锆 EtherCAT 血氧仪
LD-600/SD 传感器
小于 10 页/分钟
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
负压/大气压
直流电源
EtherCAT 技术
CE 标志
可以进行 EtherCAT 通信
兼容真空气氛
超快响应
使用具有
特殊涂层的高耐用性传感器



氧化锆多点血氧仪
MS-500/MS-510/SD 传感器
小于 10 页/分钟
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
负压/大气压
直流电源
串行通信输出
CE 标志
*多可同时测量 8 个点
还支持可选的 LAN 输出。
适用于真空环境
超快响应
使用具有

特殊涂层的高耐用性传感器





氧化锆血氧仪
LC-450A
小于 10 页/分钟
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大气压/加压
AC 电源
模拟输出
串行通信输出
CE 标志
可在较宽的浓度范围内进行测量
提高传感器耐用性
AC100~240V 宽幅电源
模拟输出：4-20mA
结构紧凑，易于安装


氧化锆血氧仪
LC-450D
小于 10 页/分钟
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大气压/加压
直流电源
模拟输出
串行通信输出
CE 标志
可在较宽的浓度范围内进行测量
提高传感器耐用性
DC24V 电源
模拟输出：0-10V
结构紧凑，易于安装

氧化锆血氧仪LC-860

小于 10 页/分钟
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大气压/加压
AC 电源
模拟输出
串行通信输出
CE 标志
可在较宽的浓度范围内进行测量
使用特定功能的按键轻松操作
高可靠性传感器
自动量程功能
内置远程泵操作功能




氧化锆血氧仪
LC-750L 系列 （低浓度用）
小于 10 页/分钟
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大气压/加压
AC 电源
模拟输出
低浓度测量
适用于清洁气体测量
通过手动范围切换进行简单设置

氧化锆血氧仪
RF-400-01
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大气压/加压
AC 电源
模拟输出
串行通信输出
CE 标志
两种类型的过滤器可捕获油、助焊剂、硅、卤素等。
AC100~240V 宽幅电源
10ppm ~ 100% 的宽测量范围
标配 RS-232C 通信

氧化锆血氧仪
RF-400 *已停产
10 ppm 或更高
1000 ppm （0.1%） 或更高
大气压/加压
AC 电源
模拟输出
串行通信输出
两种类型的过滤器可捕获油、助焊剂、硅、卤素等。
AC100~240V 宽幅电源
10ppm ~ 100% 的宽测量范围




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