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KOSAKA LAB ET-4100S小坂全自动台阶仪:半导体销售中心
KOSAKA LAB ET-4100S小坂全自动台阶仪:半导体销售中心

全自动三次元微细形状测定机(探针接触式台阶仪) 株式会社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年创立的公司，为日本**家发表表面粗糙度计的厂商，株式会社小坂研究所KOSAKA具有悠久历史与专业的技术背景。 公司主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为*具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。
株式会社小坂研究所KOSAKA于 1970 年首度推出 ET 系列膜后测量机，面向半导体、面板、学校、科研等单位􏰀供纳米等级的高精度测量仪器。并于 2004 年推出针对大型面板尺寸订制的全自动微 细形状测定机。

株式会社小坂研究所KOSAKA探针接触式微细形状测定机(表面轮廓台阶仪)




KOSAKA LAB ET-4100S小坂全自动台阶仪:半导体销售中心台阶仪主机特点:
l 一体花岗岩结构330kg设备本体搭配直动式传感器，可实现**的台阶再现性与线性度。 l 超高直线度保证，可确保量测图形不受移动轴影响，并可在保证直线度的前􏰀下长距离
量测，同时解析表面翘曲度、波纹度、内应力等。
l 采用超低噪音直动式传感器 LVDT(差动变压器)，超低测定力的触针可对应各类型样品
表面。
l 配备高分辨率的 CCD 即时进行高精度定位测量，实时观测测量过程。
l 中文化软件除台阶分析外并具有粗糙度解析功能
l 适用于各种与微米、纳米材料有关的 MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄
膜/化学涂层以及平板显示等的膜厚、台阶、段差测量。


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