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ULVAC​爱发科真空泵|真空计|气体分析仪|美萨国内总销售


创立于1952年日本,株式会社ULVAC为以**真空技术为基础,以先端技术应用及精细加工工艺为追求的研究开发型综合企业集团,向国内外客户提供真空泵、真空配套产品、

溅射靶材等产品

爱发科集团是一家以在各领域获得广泛应用的真空技术为基础,以开创精细加工工艺为追求的研究开发型综合企业集团。长期以来,作为追求真空极限(Ultimate in Vacuum)的真空技术先驱,以电子技术以及信息通信技术为引导,以设备生产为中心,在能源、环保、运输、医药、食品、化工、生物工程等广阔的领域,提供先进的真空技术产品。
FPD&PV制造设备
爱发科有各种各样的FPD以及PV相关制造技术,不仅开发和制造设备,还通过研究新材料来提供全球解决方案。半导体制造设备
下一代半导体,具有更高的集成化和高性能化,同时要求更低的成本。爱发科坚持开发这样的半导体超微细化技术,源源不断的推出支持社会进步的新技术和产品。
电子制造设备
下一代高性能电子产品,将具有更高的集成化,同时要求更低的制造成本。爱发科独具匠心的投入研发和制造,源源不断的推出支持社会进步的电子新技术和产品。
产业机器制造设备
爱发科面向一般产业制造设备的历史悠久,从五十年代就开始了设备的开发与制造。利用迄今为止所积累的技术优势驱动下,为汽车、医疗、食品等产业和领域提供综合性的技术服务。
真空配套零部件
作为真空综合厂家,爱发科追求先进的真空技术,在真空配套产品的开发上投入巨大。从真空泵、真空计、各类分
析设备到成膜设备用电源,真空阀门等,拥有的产线齐全的产品可供选择。
材料应用

爱发科为各种产业领域,源源不断的提供磁控溅射靶材等高规格电子材料。在高性能材料领域,提供钛、钽、锆、铌等材料的全套制造以及精密加工技术服务。

以"真空技术"为产业和科学的发展做出贡献,开创美好未来。
在爱发科集团的核心:株式会社爱发科中,规格品事业部开发·制造·销售与真空技术相关的多种多样的真空机器,除了用于"创造真空"的真空泵·阀门·配管部件和用于"看见真空"的真空计·工艺气体监控器·检漏仪等测量仪器之外,还有在成膜工艺中用于"制膜"的成膜用电源,用于"观察膜"的椭偏仪,用于"搬送晶圆"的真空搬送机械手等。
我们的产品不仅构成真空设备,还成为支撑汽车、空调等家电、材料工程、医疗医药、生物技术等各种产业的关键技术。
事业内容
从真空泵、计测仪器、成膜用电源、真空搬送机械手、各种分析仪到真空阀、法兰、端子等各种构成部件,开发、设计和制造多种多样的真空机器。


(1)应用数据 蒸发设备残留Gas data

gas01_1.jpg

大气压成分N2:78% O2:21% Ar:0.9%

・通常的高真空状态下H2O和H2会比较多。

・可以根据N2(28) / O2(32) 的离子强度及其比例判断泄漏是否存在。

・可以通过 M/e=39,41,43,55,57(CH)判断油成分的污染。

(2)应用数据 PVD Process Gas Data(Semi)

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(3)应用数据 PVD Process Gas Data (FPD)

Ar Gas导入时(2)(Ar 400 sccm导入时,O2 2 → 4 → 6 → 8 → 10sccm)

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(4)应用数据  PVD Process Gas Data (semi)

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(5)测量示例  真空干燥炉・Process Data

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