创立于1952年日本,株式会社ULVAC为以**真空技术为基础,以先端技术应用及精细加工工艺为追求的研究开发型综合企业集团,向国内外客户提供真空泵、真空配套产品、
爱发科为各种产业领域,源源不断的提供磁控溅射靶材等高规格电子材料。在高性能材料领域,提供钛、钽、锆、铌等材料的全套制造以及精密加工技术服务。
以"真空技术"为产业和科学的发展做出贡献,开创美好未来。 在爱发科集团的核心:株式会社爱发科中,规格品事业部开发·制造·销售与真空技术相关的多种多样的真空机器,除了用于"创造真空"的真空泵·阀门·配管部件和用于"看见真空"的真空计·工艺气体监控器·检漏仪等测量仪器之外,还有在成膜工艺中用于"制膜"的成膜用电源,用于"观察膜"的椭偏仪,用于"搬送晶圆"的真空搬送机械手等。 我们的产品不仅构成真空设备,还成为支撑汽车、空调等家电、材料工程、医疗医药、生物技术等各种产业的关键技术。 事业内容 从真空泵、计测仪器、成膜用电源、真空搬送机械手、各种分析仪到真空阀、法兰、端子等各种构成部件,开发、设计和制造多种多样的真空机器。
大气压成分N2:78% O2:21% Ar:0.9%
・通常的高真空状态下H2O和H2会比较多。
・可以根据N2(28) / O2(32) 的离子强度及其比例判断泄漏是否存在。
・可以通过 M/e=39,41,43,55,57(CxHy)判断油成分的污染。
Ar Gas导入时(2)(Ar 400 sccm导入时,O2 2 → 4 → 6 → 8 → 10sccm)