Otsuka Electronics Co., Ltd日本大塚OPTM 系列显微分光膜厚仪

纳米级精度的型号

1. FE-3 系列内置薄膜厚度监测器：采用光谱干涉测量法，FE-3/40C 的准确性达 ±0.2nm，重复性（2.1σ）＜0.1nm，厚度测量范围为 20nm～40μm，可满足高精度纳米级测量需求。
2. OPTM 系列显微分光膜厚仪：膜厚测量范围可达 1nm～35μm，能实现纳米级的高精度测量，可分析多层薄膜厚度与光学常数，*小对应光斑约 3μm。
3. FE-300 薄膜型膜厚量测仪：测量范围约 3nm-35μm，通过光学干涉原理实现纳米级精度测量。

微米级精度的型号

1. Smart 手持式膜厚计大塚科技：测量精度为 0.1μm，重复精度为 0.01μm，测量范围在 1~50μm 之间，适合现场快速测量，精度未达纳米级。
2. SF-3 分光干涉晶圆膜厚仪：主要针对较厚的晶圆膜厚测量，测量厚度范围从 6μm 到 1300μm 不等，重复精度优于 0.01%，精度集中在微米级。
3. Line-Scan 膜厚计：膜厚范围为 2~250μm，采用光谱干涉式测量，精度为微米级，适合全幅、全长的高精度测量。