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LASERTEC株式会社白光共聚焦显微镜
Lasertec（徕泰） 是日本横滨的全球垄断级半导体检测设备厂商，核心业务为EUV/DUV 光罩检测、晶圆检测、FPD 光罩检测及激光显微镜，全球EUV 光罩检测市占率超 90%，是台积电、三星、英特尔先进制程的** EUV 检测设备供应商。

二、发展里程碑

  1. 1960：东京 ITV 实验室成立，初期做 X 射线相机。
  2. 1976：全球首台LSI 光罩自动检测系统， defect 检出率 60%→近 100%，检测时间缩至 1/10。
  3. 1986：更名 Lasertec，推出全球首台彩色激光扫描显微镜。
  4. 2017：发布首台EUV 光罩检测原型机。
  5. 2019：全球首台商用EUV 光罩检测设备 ACTIS A150，垄断 EUV 检测市场。
  6. 2024–2025：EUV 检测设备持续迭代，支撑3nm/2nm先进制程。


全彩色共聚焦观察
  • 真彩色、长景深、24bit 高清，适合材料、生物、半导体等多领域
  • 同倍率下视野更大（≈1.6 倍）
    • 自研白光共聚焦光学，低倍也能大视野，效率更高
  • 低倍率下高精度测量
    • 搭配低倍高 NA 物镜，大视场 + 纳米级精度，兼顾效率与精度
  • 复杂表面也能测
    • 陡坡、深沟、粗糙面、透明膜层，抗干扰、噪声低



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