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显微光谱仪薄膜厚度计OPTM系列

OPTM是一种通过显微光谱测量极小区域**反射率,实现高精度薄膜厚度和光学常数分析的设备。

它可以测量涂层薄膜(如各种薄膜、晶圆和光学材料)以及多层薄膜的厚度,且无破坏性或接触。它支持以每点1秒的速率进行高速测量。此外,它配备了软件,即使是初学者也能轻松分析光学常数。

特色:

  • 胶片厚度测量所需的功能整合到头部
  • 利用显微光谱进行高精度**反射率测量(多层薄膜厚度,光学常数)
  • 高速测量速度在每秒1点以内
  • 在显微镜下实现宽波长范围的光学系统(紫外~近红外)
  • 使用区域传感器的**机制
  • 简易分析向导支持光学常数分析,即使是初学者也适用
  • 配备可定制的宏观测量序列功能
  • 能够分析复杂的光学常数(多点分析方法)
  • 兼容300毫米级
  • 支持多种自定义


规格:

量测项目

  • **反射率测量
  • 薄膜厚度分析
  • 光学常数分析(n:折射率,k:衰变系数)