NT1520 是小坂研究所新一代直动式微细形状 / 台阶测量仪，主打半导体晶圆台阶高度、薄膜厚度、表面轮廓测量。区别传统杠杆式检出机构，探针做纯垂直直线运动，消除支点间隙、摆动带来系统误差，兼顾0.1nm 超高分辨率与1300μm 大 Z 量程，适配研发实验室与产线抽检，可对接机械手实现全自动在线检测。
核心特点 1. 直动式检出机构（核心技术） 无杠杆支点，探针仅 Z 向直线运动，无弧形摆动误差；测量再现性 1σ≤0.3nm，精度相比传统杠杆机型大幅提升，无需更换传感器即可完成纳米台阶到百微米刻蚀深度连续测量。 2. 大行程 XY 自动平台 X：205mm，Y：280mm，*大样品 φ220mm，兼容 4/6/8 英寸晶圆；可编辑测量配方，多点位自动扫描，闭环光栅定位，减少重复装夹，提升批量检测效率。 3. 宽范围可调节测量力 标准 30‑600μN；选配可低至**0.5μN 超微测力**，可测量光刻胶等易划伤软质薄膜样品，避免探针压伤试样表面。 4. 强大分析软件 支持台阶高度、膜厚、轮廓、粗糙度、微细角度（选配）分析；支持滤波处理、数据导出；可对接机械手，实现产线自动化测量。