原理：振动电容（斩波调制）电场感应，探头不接触工件，不会泄放、刮伤被测样品。
关键：读数受测量距离影响很大，必须按仪器规定距离测量（SSD DZ5 标准距离 30mm）
两大类别（工业常用） 1. 手持式静电电位计（离线点检） 代表型号：SSD STATIRON DZ5（DZ4 升级款） 量程：0~±19.99kV，分辨率 0.01kV 核心功能 1. 普通电位测量：直接测晶圆、PCB、薄膜、治具表面静电 2. IB 离子平衡模式（选配平衡板）：校验离子风机残余平衡电压，判断离子风机好坏 3. MAX 峰值捕捉、HOLD 读数锁定、数据存储；带红色激光定位点，保证 30mm 标准距离 4. 探头 180° 旋转，机台狭小空间点检方便 适用：现场巡检、离子设备日常点检、来料静电检测
2. 在线式静电电位传感器（产线连续监控） 代表型号：SSD DSF601 分体式：固定传感头 + 控制器，安装在流水线上方，24h 实时监测
量程可选：±1.999kV / ±19.99kV；标准测量距离 5mm/30mm
输出：模拟量、RS232C、WiFi，可接入 PLC，超标报警 适用：薄膜卷材、半导体传送轨道连续监控静电变化 补充配套设备：STATIRON DP 充电板监测仪（CPM），专门测静电衰减时间，用来检测离子风机消电速度（从 1000V 衰减到 100V 耗时），和电位测试仪搭配完成离子设备全套验收。
主要用途 1. 检测工件表面静电电位，判断是否超出 ESD 管控限值 2. 离子风机 / ZAPP-II 离子发生器 / CABX 离子风棒验收与定期点检 - 测离子平衡电压（正负离子偏移） - 搭配 CPM 测消电衰减速度 3. 洁净室台面、周转治具、包装材料静电检测 4. 定位产线静电源，排查静电击穿产品**