MA-1200 MA-1300 MA-1400 基板尺寸 *大 200 x 200mm ø4″ ～ ø6″ *大 ø300 *大 400 x 400mm 光源 超高压水银灯 ：500W or 1kW 超高压水银灯 ：1kW 超高压水银灯 ：2kW or 3.5kW 外观尺寸及重量 本体尺寸 W1240 x D1100 x H1725 mm W1675 x D1400 x H1883 mm W1440 x D1590 x H1882 mm 本体重量 400kg 700kg(包含无尘机房) 400kg(包含无尘机房) 光源重量 － 250kg 250kg 选购项 无尘机房、背面对位、硬接触(真空密着式)、自动对位、对应破碎基板等特殊尺寸(需商洽)。
※基板尺寸和水银灯瓦数及特殊规格可商洽
NDK大日本科研实验・研究用曝光装置主要特长 非常适用于实验・研发之用途。 紧凑型设计(600×600mm)，可在桌面上安装使用。 搭载UV LED爆光灯房标准（有效曝光范围φ4″）。 接触式曝光模式（可支持其他的曝光模式，为选购项）。 完全手动操作，价格公道合理。 NDK大日本科研实验・研究用曝光装置主要规格 DA-1000 Wafer Size Ø2″ , Ø3″ and max. Ø4″ Mask Size 5″ x 5″ Alignment Scope 8 times Lamp House UVLED (365 nm or 405 nm) Illumination Intensity Max. 14 mW /㎠ (365 nm) or Max. 20 mW /㎠ (405 nm)