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    MIKASA米卡萨显影机

    MIKASA米卡萨为半导体制造工序提供支持的
    MIKASA米卡萨备齐光刻胶涂布、曝光、显影、蚀刻等半导体制造前段工序所需要的装置后,提供一站式服务。另外,为旋转涂膜仪的所有机型准备了替代用机,可在发生故障时尽早应对,且在销售后提供快捷周到的售后服务。针对研究过程中所发生的一系列问题,也可在现场提出解决建议。与客户共同探讨在哪个工序出现了问题、应如何改进等等,从而得出解决建议。

    MIKASA米卡萨作为一个可在半导体方面进行共同商谈的咨询顾问,不仅销售设备,而是为客户半导体制造的整体工艺流程

    晶圆→洗涤(**晶圆表面的脏污及各种金属离子)→成膜(在高温扩散炉中,形成表面氧化膜)→光刻胶涂布(将光刻胶(感光材料)涂抹到晶圆表面,形成厚度均一的薄膜)→曝光(将光掩膜与晶圆重合,复制电路图案)→显影(去除曝光部位(正胶)的光刻胶)→蚀刻(通过腐蚀氧化膜来蚀刻电路)

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