日本ULVAC真空技术株式会社（ULVAC JAPAN LTD），简称爱发科（ULVAC），是日本上市公司，成立于1952年8月23日，总部位于茅崎市 。该公司由日本生命保险公司、松下电器产业股份有限公司等6家企业共同投资设立，作为日本*大的真空技术企业，主营真空技术研发与应用，产品覆盖半导体、平板显示器、太阳能电池等领域 ，年产值达1200亿日元，业务遍及全球近100多个国家和地区 ，已有800多台套真空预冷保鲜设备和真空冷冻干燥设备应用于日本本土。 该公司前身为日本真空技术株式会社 ，在全球拥有近2000名员工 。其产品涵盖低温泵、分子泵、真空镀膜机等真空设备，在物**相沉积(PVD)设备市场与美国AMAT、瑞士Evatec形成三足鼎立格局。通过设立万保琨真空技术(深圳)有限公司等子公司，在中国布局半导体及平板显示器制造设备市场 。2024年参展SEMICON China展会，展示MOCVD、离子注入等第三代半导体设备。 ULVAC的真空泵产品包括VD系列的VD151、VD201、VD301、VD401、VD601、VD901和VSN2401等型号 [14]。GLD系列的GLD-137AA、GLD-137CC等型号 。以及DA系列和GV系列真空泵 。 真空计产品有GP-2001G皮拉尼真空计，具有操作性强和灯丝寿命通知等功能 。 泄漏检测器包括HELIOT 900系列，应用于汽车、空调、电子、食品、制药和太空开发等行业 。 沉积系统涵盖ENTRON-EXX多腔室薄膜沉积系统和uGmni-300集群式先进电子制造系统，用于半导体制造 。 靶材产品包括溅射靶材，特别是与江丰电子合作整合平板显示靶材业务