产品类目
进口美国博曼Bowman细线/晶圆测厚仪O系
产品型号: O系列
产品品牌:Bowman美国博曼
产品介绍:

美国博曼(Bowman)是高精度台式镀层测厚仪供应商,拥有近40年的行业经验。博曼XRF系统搭载拥有自主知识产权的镀层检测技术和先进的软件系统,可精准高效地分析金属镀件中元素厚度和成分。XRF系统可同时测量包含基材在内的五层元素,其中任何两层元素可以是合金。同时,博曼XRF系统也可以测量高熵合金HEAs博曼XRF镀层测量系统满足业界对精度,可靠性和易用性的严格要求。

详细介绍

   O系列 结合了高性能和小的X射线光斑尺寸。 多毛细管聚焦光学系统可以取代标准Bowman系统中安装的准直仪组件,从而实现这一目标。 光学器件旨在将来自管出口窗口的X射线聚焦到非常小的光斑尺寸(80μmFWHM),同时实际上保留100%的管通量。 因此,与准直仪系统一样,多毛细管光学组件不会使无法穿过小孔的X射线衰减,而是使来自管的几乎所有X射线都能到达样品。 结果对于测试非常小的组件或薄涂层的灵敏度更高。 与光学系统和类似尺寸的准直仪相比,更短的测试时间可以实现更好的可重复性。

     该系列采用80μm毛细管光学结构,同时配备可处理更高计数速率的高分辨率SDD硅漂移探测器。与 P系列其他型号相比,O系列的相机具有更大的放大倍数,55x视频放大和7x数码变焦。一个可编程的XY样品台也是标准配置。O系列的焦距非常接近,所以使用时样品必须平整。

现在提供扩展阶段选项

性能表现

镍钯金 化学镍
微米金 微米钯 微米镍 微米NiP 微米%P
Ave 0.043 0.08 3.72 10.202 10.17
StdDev 0.0005 0.0009 0.00010 0.1089 0.29
范围 0.0015 0.0030 0.040 0.3863 0.9900
%RSD 1.05% 1.13% 0.03% 1.07% 2.85%



产品规格

X射线管: 50 W Mo 靶,带毛细管光学器件 @80um FWHM,17 KeV
探测器: 135eV分辨率的硅漂移探测器
分析层数
及元素数:
5层(4层+基材) 每层可分析10种元素,成分分析*多可分析25种元素
滤波器/准直器: 2位置一次滤波器
输出焦深: 固定为0.1英寸(2.54毫米)
数字脉冲处理: 4096 多通道数字处理器,自动死时间和逃逸峰校正
计算机: 英特尔, 酷睿 i5 3470 处理器 (3.2GHz), 8GB DDR3 内存, 微软 Windows 10 专业版, 64位
相机: 1/4英寸(6毫米)CMOS-1280×720 VGA分辨率,双摄像头为250倍,单摄像头为45倍,屏幕为15英寸
视频放大倍率: 55X Micro 7X 数码变焦
电源: 150W,100-240V,频率范围为47Hz至63Hz
工作环境: 温度介于68°F(20°C)与77°F(25°C)之间,相对湿度小于98%,无冷凝
重量: 53kg
可编程XY平台: 桌子尺寸:381mm(15“)x 340mm(13”)| 行程:152毫米(6英寸)x 127毫米(5英寸)
现在可用 扩展 舞台选择
样品仓尺寸: 高度:140mm(5.5"),宽度:310mm(12"),深度:340mm(13")
外形尺寸: 高度:450mm(18"),宽度:450mm(18"),深度:600mm(24")


X射线管 G系列 B系列 P系列 L系列 K系列 O系列 M系列 W系列 一系列的
阳极靶材 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑 钨/铬/钼/铑
X射线照射方式 由下往上 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下 由上往下
探测器
SDD硅漂移探测器 普通 普通 普通 普通 普通 普通 无 无 无
大窗口硅漂移探测器 可选 可选 可选 可选 可选 可选 普通 普通 普通
光斑尺寸
单个准直器 普通 普通 无 无 无 无 无 无 无
多个准直器 无 可选 普通 普通 普通 无 无 无 无
毛细管光学结构 无 无 无 可选 即将推出! 80um 15um 7.5um 7.5um
焦距
聚焦激光/自动聚焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
单个固定焦距 普通 普通 无 无 无 普通  普通 普通 普通
可变焦距 无 可选 普通 普通 普通 无 无 无 无
视频放大倍率
30X 微型 普通 普通 普通 普通 普通 无 无 无 无
55X 微型 可选 可选 可选 可选 可选 普通 无 无 无
140X 微型 无 无 无 无 无 无 普通 普通 普通
7倍数码变焦 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通 普通
9X 微距 无 无 无 无 无 无 普通 普通 普通
表格检视 无 无 无 可选 可选 无 普通 普通 普通
平台&外形尺寸
Z轴控制方式 自动表 自动表 自动表 自动表 自动表 自动表 自动表 可编程 可编程
Z轴行程 1" 5.2" 5.2" 10" 9" 5.2" 5.2" 3.9" 3.9"
基值 无 固定 可编程 可编程 可编程  可编程 可编程 可编程 可编程
标准XY行程 无 无 5 × 6" 10 × 10" 12 × 12"  5 × 6" 6.5 × 6.5" 12 × 16" 23 × 23"
可选XY行程 1.5 × 1.5" 无 10 × 10" 无 无  10 × 10" 无 无 无
可选的Max XY Travel 无 无 16 × 16" 无 无  16 × 16" 16 × 16" 无 无
平台精度 无 无 0.0004" 0.0004" 0.0002" 0.0004" 0.0001" 40u” 40u”
样品仓尺寸(高*宽*深) 4x13x12“ 5.5x12x13“ 5.5x12x13“ 11x22x24“ 24x24x9“ 5.5x12x13“ 5.4x12x13“ 4x29x36“ 4x55x58“
总重量
25kg 34kg 52-70kg 110kg 120kg 52-70kg 70kg 190kg 1000kg