M系列 是用于*小特征的高性能电镀厚度测量的**产品。 M系列中的多毛细管光学元件比 O系列，将 X 射线束聚焦到 7.5μm FWHM。 为了在该尺度上测量特征，包括具有更高数码变焦的 140 倍放大率相机。 随着放大倍数的增加，视野变得更加受限，因此**台相机拍摄要测量的零件的宏观图像。 双摄像头系统允许操作员查看整个零件，单击图像以使用高磁力摄像头放大，并**定位要测量的特征。
高精度可编程XY平台可用于选择和测量多个点; 模式识别软件也可以自动执行该操作。2-D连续扫描功能可查看硅片等部件表面区域的涂层形貌。
标准配置包括7.5μm光学器件和高分辨率SDD检测器，用于处理更高的计数率。 可编程XY样品台也是标准配置。 光学系统的焦距很近，因此使用M系列测量的样品必须平坦。
现在提供扩展阶段选项