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国内总供ULVAC爱发科高速椭偏仪自动UNECS-3000AW-030
产品型号： UNECS-3000AW-030
产品品牌：ULVAC爱发科
产品介绍：

ULVAC爱发科面向显示器、太阳电池、半导体、电子、电气、金属、机械、汽车、化学、食品、医药等行业以及大学、研究所等，提供真空设备、周边机器、真空部品、材料的开发、制造、销售、客户服务等，以及各种器械的进出口业务。此外，提供各种真空技术相关的研究指导和技术顾问服务。
详细介绍

国内总代原装进口国内总供日本ULVAC爱发科高速椭偏仪自动UNECS-3000AW-030  国内各区域均有售 


高速椭圆光谱仪UNECS系列

ULVAC的高速光谱椭偏仪（UNECS系列）可以高速、高精度地测量薄膜的厚度和折射率。 采用独特的测量方法，实现高速测量和紧凑性。 根据用途，我们有广泛的产品阵容，从独特的便携式型到自动载物台型和可以集成到设备中的内置型。


■高速测量 独特的测量方法，没有旋转机构，可以以*大20ms的速度进行高速测量，并且可以在短时间内测量重复测量和
多点分布测量。
■ 除了标准型（530 nm-750 nm）外，波长范围还增加了可见光谱型（380 nm-760 nm），应用范围更广。
■ 紧凑型传感器单元发射光传感器仅由一个光学元件组成，该元件没有旋转机构，非常轻巧紧凑，不需要定期维护。
■ 丰富的产品阵容能够处理各种用途，包括独特的便携式类型、手动/自动载物台类型、大型基板类型和
内置设备类型。






UNECS-便携式/UNECS-Portable-030/UNECS-PortableW/UNECS-PortableW


UNECS-1500M/UNECS-1500M-030/UNECS-1500MW/UNECS-1500MW-030

UNECS-1500A/UNECS-1500A-030/UNECS-1500AW/UNECS-1500AW-030/UNECS-2000A/UNECS-2000A-030/UNECS-2000AW/UNECS-2000AW-030/UNECS-3000A/UNECS-3000A-030/UNECS-3000AW/UNECS-3000AW-030

UNECS-1M型/UNECS-1M-030型/UNECS-1MW系列/UNECS-1MW-030型



UNECS系列是高速、高精度测量薄膜厚度和折射率的光谱椭偏仪。

采用独特的测量方法，实现高速测量和紧凑性。

根据用途，我们提供广泛的产品阵容，从独特的便携式型到自动载物台型以及支持真空环境的内置型设备。


带映射测量的自动载物台类型

UNECS系列是高速、高精度测量薄膜厚度和折射率的光谱椭偏仪。
采用独特的测量方法，实现高速测量和紧凑性。
根据用途，我们提供广泛的产品阵容，从独特的便携式型到自动载物台型以及支持真空环境的内置型设备。

UNECS-1500A/2000A/3000A使用自动R-theta载物台和自动对焦功能，可快速自动测量基板表面的厚度分布，并将结果显示在彩se图中。


长处：


  • 高速测量：
  • 独特的快照方式，实现高速测量，*高速度可达20ms。
  • 可见光谱支持：
  • 波长范围可选择标准型（530nm~750nm）和可见光谱型（380nm~760nm）。
  • 紧凑的传感器单元：
  • 发射光传感器仅由一个光学元件组成，该元件没有旋转机构，非常轻巧紧凑，不需要定期维护。
  • 丰富的产品阵容：
  • 提供独特的便携式、手动和自动载物台、大型板型、大气和真空环境的内置设备等广泛的用途。
  • 用：
  • 透明或半透明薄膜（氧化物、氮化物、抗蚀剂、ITO等）的薄膜厚度、折射率和衰减系数的测定
  • 规范：
    型 1500安培 2000安培 3000安培
    波长范围 530~750nm、380~760nm（任选）
    光斑直径 Φ1mm、Φ0.3mm（任选）
    入射角 70°固定
    薄膜厚度再现性 1σ = 0.1纳米
    厚度范围 1纳米~2微米
    测量时间 光接收：20ms~3000ms 操作：300ms
    阶段 Φ150mm自动 φ200mm自动 Φ300mm自动
    自动测量 200 积分 200 积分 2,000 积分
    控制电脑 笔记本型（带操作和分析软件）
    仪器配置 测量本体、控制器、操作电脑（笔记本电脑型）、使用说明书（CD）