国内总代原装进口华东总代日本ULVAC爱发科UNECS-1M-030高速椭偏仪 国内各区域均有售 

高速椭圆光谱仪UNECS系列

ULVAC的高速光谱椭偏仪（UNECS系列）可以高速、高精度地测量薄膜的厚度和折射率。 采用独特的测量方法，实现高速测量和紧凑性。 根据用途，我们有广泛的产品阵容，从独特的便携式型到自动载物台型和可以集成到设备中的内置型。

■高速测量 独特的测量方法，没有旋转机构，可以以*大20ms的速度进行高速测量，并且可以在短时间内测量重复测量和
多点分布测量。

■ 除了标准型（530 nm-750 nm）外，波长范围还增加了可见光谱型（380 nm-760 nm），应用范围更广。

■ 紧凑型传感器单元发射光传感器仅由一个光学元件组成，该元件没有旋转机构，非常轻巧紧凑，不需要定期维护。

■ 丰富的产品阵容能够处理各种用途，包括独特的便携式类型、手动/自动载物台类型、大型基板类型和
内置设备类型。

UNECS-1500M/UNECS-1500M-030/UNECS-1500MW/UNECS-1500MW-030

UNECS-1500A/UNECS-1500A-030/UNECS-1500AW/UNECS-1500AW-030/UNECS-2000A/UNECS-2000A-030/UNECS-2000AW/UNECS-2000AW-030/UNECS-3000A/UNECS-3000A-030/UNECS-3000AW/UNECS-3000AW-030

UNECS-1M型/UNECS-1M-030型/UNECS-1MW系列/UNECS-1MW-030型

UNECS系列是高速、高精度测量薄膜厚度和折射率的光谱椭偏仪。

采用独特的测量方法，实现高速测量和紧凑性。

根据用途，我们提供广泛的产品阵容，从独特的便携式型到自动载物台型以及支持真空环境的内置型设备。

UNECS系列是高速、高精度测量薄膜厚度和折射率的光谱椭偏仪。
采用独特的测量方法，实现高速测量和紧凑性。
根据用途，我们提供广泛的产品阵容，从独特的便携式类型到自动载物台类型和内置设备类型。

UNECS-1M 采用轻巧紧凑的传感器单元，易于集成。

长处

• 高速测量：
• 独特的快照方式，实现高速测量，*高速度可达20ms。
• 可见光谱支持：
• 波长范围可选择标准型（530nm~750nm）和可见光谱型（380nm~760nm）。
• 紧凑的传感器单元：
• 发射光传感器仅由一个光学元件组成，该元件没有旋转机构，非常轻巧紧凑，不需要定期维护。
• 丰富的产品阵容：
• 我们提供适用于各种用途的产品阵容，包括独特的便携式类型、手动和自动载物台类型、大型电路板和内置设备
• 型。

• 用

• 透明或半透明薄膜（氧化物、氮化物、抗蚀剂、ITO等）的薄膜厚度、折射率和衰减系数的测定

  规范

  波长范围		530~750nm、380~760nm（任选）
  光斑直径		Φ1mm、Φ0.3mm（任选）
  入射角		70°固定
  薄膜厚度再现性		1σ = 0.1纳米
  厚度范围		1纳米~2微米
  测量时间		光接收：20ms~3000ms 操作：300ms
  仪器配置		测量头、控制箱、光源单元、使用说明书（CD）、分析软件（CD） *控制PC不包括在规格中

•