直流电源

可选功能

它提供四种升级包（或单元）以满足您的需求，并包括其他直流电源所没有的独特高性能功能。 这是一项新功能，可以解决客户以前无法解决的工艺问题，并提高膜性能。

1.高性能RAMP
通过在放电前控制输出（点火操作）来抑制放电开始时输出突然变化的功能，并在放电后立即获得稳定状态的功能

传统上，直流电源的RAMP功能一般是放电后的输出控制。 因此，我们专注于放电前的输出控制。
通常，输出是在放电后控制的，因此可能无法获得稳定的放电状态。 通过这项新功能，通过在放电前控制输出（点火操作），可以抑制放电开始时的瞬时高功率并实现放电稳定。

2.控制精度
高 这是一项实现高精度输出到设定值和**连续重复性的功能。

对于标准机器，设定输出的保证值范围在10~100%范围内，小于10%为非保修范围，但对于添加此封装的设备，保证值从1%开始保证。 此外，即使在上千次或几万次的重复过程中，输出的变化也很小，可以保持高再现性。

输出重复性（σ：0.74W）

3. 高速电弧处理：
全新电弧控制功能，****的电弧截止时间为5μs

当直流电源检测到异常放电时，它会暂时关闭输出，但如果中断时间过长，则可能无法恢复放电。
这种封装功能可以*大限度地减少截止时间，便于放电维护，并稳定过程。 此外，较短的截止时间可以预期缩短清洗沉积材料的预溅射时间。

4.性能优越的ARC处理 直流
电源在检测到异常放电后自行判断异常放电水平并执行*佳关机的功能

使用典型的直流电源时，只能设置一种关断模式。 但是，封锁往往不适合当时的情况，后续的沉积工艺效率可能会降低，或者可能会立即再次发生异常放电，并可能重复封锁。 这项新功能有望通过确定直流电源本身对异常放电的*佳拦截来降低异常放电的复发概率，并提高沉积过程的效率。
这些功能可以单独添加到单个直流电源中，也可以添加到可以添加到任意数量的封装中。 以后也可以将其添加到已在使用的随附电源中。

自动确定ARC截止时间