国内总代原装进口华东总代国内办事处国内总供日本ULVAC爱发科沉积直流电源DC-20-4-AM  国内各区域均有售 

DC-10 和 DC-20 是用于溅射的 10 kW 和 20 kW 输出直流电源。
它由可靠的组件和电路组成。 它是一种高度可靠的电源，反映了我们多年来在设计中积累的包括电源应用在内的专有技术，是等离子负载的理想选择。

长处

• 轻巧、节省空间的设计，安装效果好，重量轻，节省空间
  。
• 输出电压范围可以选择，除了800V规格外，
  还提供1000V规格。
• 熟悉大量电弧处理
  等离子体的多种电弧控制方法。
• 无需冷却水：由于采用强制风冷
  系统，因此不需要冷却水。
• 它可以配备高速电弧切断电路，即使作为标准配置也能实现
  低电弧能量。 此外，还可以选装高速电弧电路。
• 配备自由并联运行功能DC-10和DC-20：可选的并联运行功能允许通过自由组合10 kW
  和20 kW，*多可并联运行12台机组。 （高达240kW）

用

• FPD溅射机
• 半导体溅射设备
• 触摸屏溅射装置
• 工业镀膜溅射设备

规范

型		DC-10-AM	DC-10-H-AM型	DC-10-4-上午	DC-20-AM	DC-20-H-AM型	DC-20-4-AM
输入规格	输入电压	三相AC187~229V		三相AC342~440V	三相AC187~229V		三相AC342~440V
	输入电容	13.5kVA以下			25kVA以下
输出规格	*大额定功率	10kW			20kW
	额定电流	25安培	28"	25安培	60"	40安培	60"
	额定电压	-800伏	-1000伏	-800伏	-800伏	-1000伏	-800伏
	点火电压	-1500伏
	异常放电控制	当检测到异常放电时，由高速电弧中断电路中断
控制	控制方式	恒功率控制（P控制）/恒流控制（I控制）/恒压控制（V控制）
	控制精度	恒功率控制（P控制）：额定输出的±0.5%以下或设定值的±1%，以较大者为准，恒流控制（I控制）：额定输出的±1%以下或设定值的±2%，以较大者为准：额定输出的±1%以下或设定值的±2%，以较大 者为准 。
	控制保修范围	额定功率的10~100%
	外部控制	模拟/数字，RS-232C 或 485
并联操作		*多 12 个单位（10、10H、-4 的混合，以及不混合 20、20H、-4）
冷却方式		强制风冷
尺寸 W×D×H		483×630×133mm（不含突起部分）
质量		29公斤			36公斤
法规遵从性		CE / SEMI F47 / RoHS认证