“G-TRAN系列多离子真空计”是可连接不同测量范围的测量装置的新型传感器式真空计系列。 本产品是B-A型电离真空计，能够测量超高真空。 在继承传统压力测量理念和低运行成本的同时，经过改进，更加人性化。

长处

• 可以连接具有不同测量范围的传感器：多离子计允许根据应用选择测量元件
• 紧凑：比传统产品小得多（控制器体积减少 56%），是世界上*小的产品
• 可用性改进：可通过PC/智能手机连接进行设定点设置、状态检查等设置。
• 产品阵容的充实：除了模拟输出规格（SH200-A）和串行通信规格（SH200-R）外，还将增加EtherCAT规格（SH200-E）
• 灯丝寿命通知功能：灯丝功率监控可提前通知灯丝寿命
• 压力测量范围广：从大气压到高真空 （1×10⁺⁵~5×10^-8Pa）（当连接到可选单元 SWU10-R 时）
• **的大气压力测量：可以检查腔室打开的大气压力（当连接到可选单元 SAU 时）

用

• 用于半导体和电子元件等各种制造设备的高真空范围的过程控制
• 用于检查具有许多工艺室的各种制造设备（例如直插式和单晶圆型）在高真空范围内的极限压力
• 用于高真空和超高真空设备的压力测量

规范

型		SH200-A型	SH200-R型	SH200-E（即将发布）
规范		标准规格	串行通信规范	EtherCAT 规格
自适应多离子真空计传感器		M-44（NW16）， M-45（NW25）， M-46（ICF070）
可连接传感器		多离子真空计传感器：1 皮拉尼真空计 SWU10-R：1（可选） 大气压力传感器 SAU：1（可选）
重复性 （N2）		SH200 独立模式：±2%
采样时间		60ms 5 移动平均处理
测量值输出		输出电压DC 0~10V LOG输出0.75V/个位数压力换算公式V=7.25+0.75×（LogP-2） P=10^{（V-7.25 ）/0.75+2}
更新时间		60 毫秒
控制输入信号		采用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集电极开路输入、负逻辑 * FIL ON/OFF信号的使用方式因模式而异	-	-
控制输出信号		传感器误差，设定值 1/2/3，发射有效，灯丝 功率监控 额定值：24V MAX，50mA MAX，1V 饱和电压	-	-
串行通信规范		-	RS232C/RS-485接口	以太网CAT
LED指示		POWER/ERROR：电源、错误 LED（闪烁状态根据每种模式而变化）
		SET1：设定点 1 LED SET2：设定点 2 LED SET3：设定点 3 LED	-	-
发射电流		1毫安（1×10）-3Pa以下）、10μA（1×10-3PA 或更高）
德加		电子轰击 1 mA，330 V
传感器耐压		2×10+5Pa（**压力） * 法兰和卡箍等耐压性必须单独考虑。
传感器内部容积		17厘米3（M-44），19厘米3（M-45），17厘米3（M-46型）
工作温度范围		10~50°摄氏度
工作湿度范围		15~80%（无凝露）
储存温度		-20~65°C （断电时，无凝露）
IP防护等级		IP30防护等级
电源电压		DC20~28V（纹波、噪声1%以下），8W以下
输入/输出连接器		D-sub 15 针（M2.6 螺丝）
质量		控制器：约280g 测量元件（M-44、M-45）：80g、（M-46）：300g
尺寸 W×D×H		69mm×63mm×90mm（控制器）
法规遵从性		CE认证
Op-syeong	多离子真空计传感器	M-44 （NW16）， M-45 （NW25）， M-46 （ICF070） 材料 ： 灯丝 1,2 -Ir/Y2O3 涂层 其他：PtC-Mo、SUS304、W、可伐玻璃、可伐合金/镍镀层
	皮拉尼真空计	SWU10-R *与传统SPU兼容
	皮拉尼真空计传感器	SWP-16（NW16）， SWP-25（NW25）， SWP-R1/8（R1/8）， SWP-P18（Φ18管端）， SWP-P15（Φ15管端）材质 ： 灯丝-Pt， 其他-BS/Ni， 镀层， Ni， 焊料
	大气压力传感器	SAU（NW16） 材质：SUS316L
	单元电缆	GUC-200P（用于SWU）：0.5m，1m，2m GUC-200A（用于SAU）：0.5m，1m，2m
	显示单位	1CH：ISG1（使用24V直流电源）
	显示单元电缆	SH200 ~ 显示单元电缆 2m、5m、10m、15m、20m、25m、30m、35m、40m
	连接器	输入/输出连接器（D-sub15-soket（M2.6mm 螺丝））
	其他	检验报告、一般校准检验报告、JCSS校准证书

PC/智能手机连接图像

应用软件“UL-MOBI”

兼容设备