ULVAC真空计是基于在真空领域的丰富技术和经验而开发的。 从皮拉尼真空计到电离真空计,再到极高真空计,从大气压到极高真空计(10-12我们拥有适用于PA所有领域、条件和应用的真空计产品阵容。
AxTRANは、イオン源とイオンコレクタとの間にBessel-Box型エネルギーフィルタを配置した熱陰極型電離真空計です。 軟X線、ESDイオン等による残留電流を低減したことで、0.5×10-10Paの測定分解能を実現しました。
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