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ULVAC爱发科冷阴极电离真空计VCT技术
产品型号： VCT技术
产品品牌：ULVAC爱发科
产品介绍：

ULVAC爱发科面向显示器、太阳电池、半导体、电子、电气、金属、机械、汽车、化学、食品、医药等行业以及大学、研究所等，提供真空设备、周边机器、真空部品、材料的开发、制造、销售、客户服务等，以及各种器械的进出口业务。此外，提供各种真空技术相关的研究指导和技术顾问服务。
详细介绍


华东供应国内总代日本直发原装进口日本ULVAC爱发科冷阴极电离真空计VCT技术   国内各区域均有售 


G-TRAN系列真空计是基于（1）降低设备成本，（2）节省空间，（3）减少布线的理念开发的，以实现各种设备的过程控制的集中化和小型化。

它由传感器单元和显示单元的基本单元组成，可根据应用进行组合。



长处

  • 测量元件与测量电路的集成结构
  • 模拟和设定值输出
  • 独立的伪对数输出和设定值输出（显示单元）
  • 48 x 96mm DIN 标准尺寸（显示单元）

用

  • 用于半导体、电子元件等各种制造设备的过程控制
  • 用于窑炉等各种工业设备的过程控制
  • 用于对具有许多工艺室的各种制造设备进行工艺控制，例如直插式和单晶圆型

规范

类型 传感器单元
型 VCT技术
自适应测量元件 C-21、23、24、25
测量压力范围 1.0×10-5 ~ 1.0 帕
测量精度 +100%， -50%（1.0×10-4 ~ 1.0×10-1）
工作温度范围 10 ~ 40°摄氏度
测量值输出 非线性输出：DC0V~10V（HV-OFF时为10V）
SETPOINT1/2 调节输出 非线性输出：DC0~10V
控制输入信号 高压开/关
输出信号 集电极开路，负逻辑
控制输出信号 放电确认/设定值 1/2
LED指示 电源，高压，压力保护，设定值 1/2
权力 DC24V±2V、150mA
输入/输出连接器 D-sub - 15 针（M2.6 螺丝）
体重 430g（不含测量元件）
附属品 1 个 I/O 连接器
快速手册 1 份

* IO 和模拟 GND 以及电源 GND 不是隔离的。