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原装进口HORIBA堀场UVISEL PLUS椭圆偏振光谱仪
产品型号： UVISEL PLUS
产品品牌：HORIBA堀场仪器
产品介绍：

HORIBA堀场集团向各行业领域提供高品质的分析与测试仪器。我们的业务涉及汽车测试、科学仪器、过程和环境仪器、体外诊断和半导体仪器等。我们已在全球市场展示出自己的优势，尤其在汽车排放和烟道气测量、空气污染、水污染监控、不同行业的质控以及临床诊断等领域。过去几年来，我们取得了长足发展。让我们感到高兴和自豪的是，我们的分析和测量业务为全球的环保、**和健康事业做出贡献，并为解决能源问题助一臂之力。
详细介绍

HORIBA堀场集团向各行业领域提供高品质的分析与测试仪器，49家分公司遍布全球27个国家。 

我们的业务涉及汽车测试、科学仪器、过程和环境仪器、体外诊断和半导体仪器等。我们已在全球市场展示出自己的优势，尤其在汽车排放和烟道气测量、空气污染、水污染监控、不同行业的质控以及临床诊断等领域。过去几年来，我们取得了长足发展。让我们感到高兴和自豪的是，我们的分析和测量业务为全球的环保、**和健康事业做出贡献，并为解决能源问题助一臂之力。我认为正是这种自豪感促使我们提供更具竞争力的产品。 

拥有自豪感和勇于挑战的精神，以充沛的体力和激情投入到工作中去，谱写一个更加令人满意的人生。我们将更加快乐过好每**的愿望融入企业哲学，这一精神自企业创建以来一直代代相传。遍布全球的大约7,000名堀场人（这样称呼的原因是我们把堀场集团的所有员工都看成是一家人）是我们企业发展的源泉，他们能够正确理解“新奇、有趣”这一企业哲学，并在日常工作和生活中很好地贯彻。 

我们将一如既往地以自豪的态度和勇于迎接挑战的精神为社会做出贡献。 

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原装进口HORIBA堀场UVISEL PLUS椭圆偏振光谱仪 国内总代各区域均有售有

研究级经典型椭偏仪


光谱范围从FUV到NIR：190-2100nm

UVISEL Plus椭圆偏振光谱仪为先进薄膜、表面和界面表征提供了模块化和性能的优化组合。

UVISEL Plus作为一款高准确性、高灵敏度、高稳定性的经典椭偏机型，它采用了PEM 相位调制技术，与机械旋转部件技术相比， 能提供更好的稳定性和信噪比。光谱范围从190nm到2100nm。

UVISEL Plus集成了全新的FastAcqTM快速采集技术，可在3分钟以内实现高分辨的样品测试（190-2100 nm），校准仅需几分钟。基于全新的电子设备，数据处理和高速单色仪，FastAcq技术能够为用户提供高分辨及快速的数据采集。FastAcq专门为薄膜表征设计，双调制技术可以确保您获得优异的测试结果。

相位调制技术的独有特点为高频调制 50 kHz，信号采集过程无移动部件：

  • 测试全范围的椭偏角，Ψ (0-90)，Δ (0-360)
  • 从FUV到NIR具有优良的信噪比
  • 数据采集速度快，高达50毫秒/点，是动力学研究和在线测量的理想选择

 

相比于采用 旋转元件调制的传统椭圆偏振光谱仪，UVISEL Plus的相位调制模式在表征薄膜方面具有更高的灵敏度和精度。它不仅可以探测到其他椭偏仪无法观测到的极薄膜或界面，还可以表征50µm的厚膜。

在测试有背反射的透明样品时，测试简单、准确，无需刮花背面。

UVISEL Plus还设计有多种附件及可选功能，便于客户根据应用需求及预算选择合适的配置。比如，微光斑用于图案样品、自动变角器、自动样品台等。

UVISEL Plus采用模块化设计，可灵活扩展。即可用于离线台式测量，也可以耦合于镀膜设备做在线监控。

UVISEL Plus可根据习惯选择操作界面，一个是 DeltaPsi2  具有建模和拟合处理功能；另一个是 Auto-Soft 用户导向的全自动样品测试界面 ，工作流程直观，易于非专业人士操作。

UVISEL Plus搭载FastAcq技术是材料研究和加工、平板显示、微电子和光伏领域中优选通用光谱型椭偏仪。

UVISEL Plus是材料科学研究的理想工具。

产品优势

  • 高精度和高灵敏度
  • 模块化设计
  • 宽光谱范围： 190-2100 nm
  • 集数据测量、建模和自动化操作为一体的软件包

 

获得的信息

  • 膜层厚度，从1Å到50 µm
  • 表面和界面粗糙度
  • 光学常数 (n,k) ，适用于各向同/异性和渐变层
  • 光学特性如：吸收系数α, 光学带隙Eg
  • 材料性能：合金成分、孔隙率、结晶度及形貌等
  • 穆勒矩阵
  • 退偏

UVISEL 规格

  • 光谱范围：标配190-885nm，可扩展至近红外2100nm
  • 检测系统：高分辨率光谱仪配合高灵敏探测器

 

 手动配置

  • 光斑尺寸：0.05 – 0.1 – 1 mm（针孔）
  • 样品台：直径150mm，手动调节高度（20mm）和倾角
  • 卡位量角器：手动调节角度，从55°到90°，步径5°

 

 自动配置

  • 光斑尺寸：0.05 - 0.1 - 1 mm或0.08 - 0.12 - 0.25 - 1.2 mm（针孔）
  • 自动样品平台：200 x 200mm或300 x 300mm，手动调节高度（4mm）和倾角；XYZ样品台，theta平台
  • 自动量角器：自动调节角度，从45°到90°，步径0.01°

 

 集成型量角器

  • 手动调节入射角度，从35°到90°，步径5°
  • 样品台：直径150mm，手动调节高度（20mm）
  • 自动准直系统（可选）
  • 尺寸: 25cm*21cm*35cm

 

 在线配置

  • 机械适配器：CF35或KF40法兰
  • 易于在在线和离线配置间更改

 

 选配

  • 附件：冷热台、液体样品池、电化学反应池、反射模块（测试0°入射的反射率）等
  • 可视化：CCD摄像机

 

性能

  • 准确度：Ψ= 45°±0.01°和Δ=0°±0.01°，空气对射1.5 - 5.3 eV
  • 重复性：NIST 1000Å SiO2/Si (190-2100 nm)，d±0.1%，n(632.8nm)±0.0001