电源信号线 (主体附带)
放电针组件可更换
(左):晶片的除静电 (右):电子元件的除静电
(左):供料装置搬运等精密产品的局部除静电 (右):小直径容器内部 的除静电(除尘)
登载的喷嘴不能在氮气环境下使用,在氮气环境下请务必使用OZ-N系喷嘴。
OZ-N系喷嘴可在投入氮气(N2)时使用。在氮气环境下务必使用OZ-N系喷嘴。
(注1):口使用150mm、20pF带电板监视器(Charged plate monitor)进行测定 (注2):除静电时间为从±1000V→±100V的衰减时间 (注3):测定距离为从平板监视器起50mm的位置 (注4):喷嘴使用我公司标准喷嘴OZ-S