日本山田光学YP-150I/YP-250I YAMADA高照度卤素强光灯
根据具体要求可以选择黄光和白光两种光源 可检测各种缺陷 如硅片 砷化镓 碳化硅
等半导体晶片及液晶基板表面的异物 划痕 抛光不均 雾状 划伤等

高亮度鹵素光源設備

是宏観観察用的照明設備，可検測各種缺陥如半導体晶片及液晶基板加工中*費人工的成形製品表面
的異物、刮痕、抛光不均、霧状、划傷等。

概要

山田光学YAMADA半导体用卤素光源照明装置 YAMADA/日本 YP-150I/YP-250I 特点介绍

高亮度卤素光源装置在半导体芯片及液晶基板加工

是宏観観察用的照明設備，可検測各種缺陥如半導体晶片及液晶基板加工中*費人工的成形製品表面的異物、刮痕、抛光不均、霧状、划傷等。

用于检测各种缺陷的宏观观察用照明装置检查灯。

山田光学YAMADA半导体用卤素光源照明装置 YAMADA/日本 YP-150I/YP-250I 规格参数

1、可照亮样品表面400,000Lx以上。

2、光源采用卤素灯，色温高，照度不均小，光线极其稳定锐利。

3、采用冷镜，热量的影响极大地降低到传统铝镜的1/3。

4、两级切换机构，一键实现高照度观察和低照度观察。

YP-150I 照度范围：30mmφ

YP-250I 照度范围：60mmφ

超精密平面检测的理想选择！通过惊人的照明，可以检测小于 0.2 μm 的缺陷。

YP-150I”是一种用于显微观察的照明装置，用于检测

*终成品表面上的各种缺陷，如异物、划痕、抛光不均匀、雾度、滑移等，是半导体加工过程中劳动强度的一种。晶圆和液晶板

另外，由于采用卤素灯作为光源，色温高，

光照不均匀的情况很少，光照***稳定锐利。

姊妹机“YP-250I”也可用于 8 英寸。

光源采用卤素灯

■ 可以将样品表面照射到400,000 Lx或更高

■ 热量的影响降低到传统铝镜的1/3

■ 高照度观察和低照度观察可一键切换

请用于超精密平面检测！

1.　可照明様品表面範囲於400.000Lx以上。
2.　因使用鹵素光源灯的光源，具有色温度高、光照不均的減少及非常穏定鋭利照明的特性。

3.　冷反射鏡受熱影響是鋁鏡的1/3

4.　二段切換構造，可用按扭切換高照明観察及低照明観察。

YP-150I・・・照度範囲　φ30
YP-250I・・・照度範囲　φ60
（YP-250I的通風機可選択螺旋式風扇或管道通風機形）