HITACHI日立EA1000AIII和EA1400 XRF分析仪专为RoHS（有害物质限制）设计，15年来一直受到信任，为需要遵守本指令的企业提供一致的结果。通过对有害物质的简单快速的测量，您可以确保能够满足环境法规的要求。在专用RoHS分析的EA1000系列和RoHS、镀层和元素分析的EA6000范围之间进行选择。

为什么选择日立 ?
●高分辨：
 放大倍率15万倍
 5nm分辨率
 1kV~30kV加速电压选择 ，图像分辨率高

使用方便：
Tilt（ 0~90 ）载物台配置（可选择）
通过选配EDS可进行元素成份分析
扫描电镜,体型小巧, 占用空间小

产品特性：
自动平台采用中心定位模式,迅速定位待测样品
采用二次电子和背散电子双重探测器

扫描电镜能谱一体机：

原厂集成能谱仪

高真空设计,可调式电压,为不同样品提供更合适的检测环境



E-150系列扫描电镜技术参数

分辨率

5nm  (30kV,SE)

放大倍率

20x~150,000x

加速电压

~30kV

探测器

SE探测器 ，可选配BSE探测器 ，EDS等

电子枪

预对中钨灯丝

透镜系统

聚光镜 ：2段式磁线圈透镜

物镜 ：1段式磁线圈物镜

载物台

3轴(X,Y, R,)X,Y轴40mm/R轴 ：360 °

可选5轴样品台 ：X:40mm,Y:40mm,Z:40mm,R:360°,T:0 ~90 °

图像偏移

X,Y轴图像偏移(±150μm)

光阑

可调节光阑(30/50/50/100μm)

样品*大尺寸

高度35mm时*大直径80mm

图像扫描

快速扫描 ：320*240  低速扫描 ：640*480

图片模式1:1280*960   图片模式2:2560*1920           图片模式3:5120*3840

自动功能

自动启动、 自动亮度对比度调节、 自动初始化

图像存储格式

BMP,JPEG,PNG,TIFF

图片显示数据

放大倍率、探测器类型、加速电压、真空模式、比例尺、LOGO、 日期和时间

真空方式

高真空模式 ，机械泵 ，分子泵 ，抽真空时间 ：3分钟以内

设备尺寸

460(W)*600(L)*950(H)mm

运行环境

温度 ：15~30℃,湿度 ：≤70%电源 ：单相220AC1KW 50/60Hz