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KOFLOC小岛低成本金属密封质量流量计 MODEL 5410 SERIES
产品型号：MODEL 5410 湖州
产品品牌：KOFLOC小岛
产品介绍：

科赋乐从创业至今已有60 多年的历史，深入挖掘人类的智慧，不断深入技术**，尤其在气体的测量、控制方面赢得社会各界的信赖近年来，又开发出液体测量控制方面的新设备，作为流体（气体液体）界专家的科赋乐，重视匠人的精神，贴近客户的需求，以创建丰富的地球环境为目标不断迎接挑战。
详细介绍

低成本金属密封质量流量计

MODEL 5410 SERIES


5410型是一种质量流量计，具有进一步改进的基本性能。
虽然外观是传统产品，但传感器驱动方法已得到改进，以减少零漂移。
它是一种通过金属密封结构具有高气密性的产品，并增加了切口接头。

  • 提高每个流量范围的精度
  • 适用于微流量（选项规格）
  • 由于无焊接结构（VCR规格），金属密封，泄漏低
  • 价格便宜

标准规格

流量范围
（N2转换20°C / 1 ATM） 		1SCCM~20SLM（任意条件选择）
传感器方式 热绕组传感器
准确性 ±1％F.S.（20°C）
温度系数 0.1％F.S./°C（15~35°C）
再现性 ±0.2%F.S.（20°C）内
可工作压力 300kPa（G）以下
耐压 980kPa（G）
He泄漏率 1 x 10-11 Pa.m3/s以下
允许周围温度 0~50℃（精度保证温度15.35°C±0.1％FS /°C）
允许环境湿度 10~90%RH（无结露）
气体接触材料 车身SUS316L
隔膜Ni.Co
阀座PTFE
密封材料SUS316L，Ni
电气连接 Dsub 9针KFC　标准（符合SEMI标准）
流量设定
输入信号 		0~5 VDC（*小负载电阻250kΩ以上）
所需电源 +15 VDC（±5％）100 mA，
-15 VDC（±5％）100 mA
配件（车身尺寸） 标准1/4 VCR等效
重量 约800g

警告

流量范围附带的规格（流量范围，精度等）是N2或空气转换中的规格。
有关MFC规格，请单独查询。

接线连接

Dsub 9针KFC标准引脚排列







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