KOFLOC小岛标准质量流量控制器MODEL 3660 SERIES 美萨科技（苏州）有限公司

MODEL 3660系列是一款质量流量控制器，主要结构紧凑，成本低廉。
从大学和研究机构的研发应用中，我们作为各种分析仪器和真空设备的标准模型取得了许多成就，我们有各种衍生模型和选项。

配备流量传感器，采用改进的恒流温差检测方法，实现高速响应

采用常闭阀门，方向操作**

通过电磁执行器确保高可靠性

燃气控制的低压差规格（LP选项：**3660）

标准规格

模型 3660 3665

流量范围
（N2转换20°C / 1 ATM） 10SCCM~20SLM（可选） 30SLM~100SLM（可选）

传感器方式热绕组传感器

阀门方法比例螺线管阀门（未通电时关闭）

控制范围（* 1） 2~100％（F.S.） 5~100％（F.S.）

响应速度在2秒内
（在±2％F.S.内）在3秒内
（在±2％F.S.内）

准确性 ±1.0％F.S.（25°C） ±1.5％F.S.（25°C）

温度系数 ±0.1％F.S./°C（15~35°C） ±0.2％F.S./°C（15~35°C）

再现性 ±0.5%F.S.

操作压差 F.S.≤5SLM 50~300 kPa（G） F.S.≤50SLM 150~300 kPa（G）

F. S.> 5 SLM 100~300 kPa（G） F. S.> 50 SLM 200~300 kPa（G）

可选：中压差压规格（MP），低压差规格（LP）可根据条件制造

压力（* 1） 980kPa（G）

He泄漏率（* 2） 1 x 10-8 Pa.m3/s以下

允许周围温度 5~45℃

允许环境湿度 10~90%RH（无结露）

气体接触材料主体SUS316，SUS316L，磁性不锈钢

阀座FKM（选件CR或NBR）

密封材料FKM（选件CR或NBR）

电气连接 Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准）

流量设定
输入信号 0~5VDC
（输入阻抗1MΩ以上）

流量输出信号 0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上）

所需电源 +15 VDC（±5％）100 mA，。15 VDC（±5％）250 mA

接头
（体型）标准1 / 4F900
（9 / 16.18 UNF）
选项1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等标准3 / 8F 900
（9 / 16.18 UNF）
选项1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等

重量约1000g 约1500g

（* 1）不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10.6Pa•m3 / sec以下。

警告

流量范围附带的规格（流量范围，精度，响应性等）是N2或空气转换中的规格。
另外，生产规格条件是初级侧小于300kPa，次级侧向大气开放。
有关压力条件，请另行咨询。

模型	3660	3665
流量范围（N2转换20°C / 1 ATM）	10SCCM~20SLM（可选）	30SLM~100SLM（可选）
传感器方式	热绕组传感器
阀门方法	比例螺线管阀门（未通电时关闭）
控制范围（* 1）	2~100％（F.S.）	5~100％（F.S.）
响应速度	在2秒内（在±2％F.S.内）	在3秒内（在±2％F.S.内）
准确性	±1.0％F.S.（25°C）	±1.5％F.S.（25°C）
温度系数	±0.1％F.S./°C（15~35°C）	±0.2％F.S./°C（15~35°C）
再现性	±0.5%F.S.
操作压差	F.S.≤5SLM 50~300 kPa（G）	F.S.≤50SLM 150~300 kPa（G）
	F. S.> 5 SLM 100~300 kPa（G）	F. S.> 50 SLM 200~300 kPa（G）
	可选：中压差压规格（MP），低压差规格（LP）可根据条件制造
压力（* 1）	980kPa（G）
He泄漏率（* 2）	1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允许周围温度	5~45℃
允许环境湿度	10~90%RH（无结露）
气体接触材料	主体SUS316，SUS316L，磁性不锈钢
	阀座FKM（选件CR或NBR）
	密封材料FKM（选件CR或NBR）
电气连接	Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准）
流量设定输入信号	0~5VDC （输入阻抗1MΩ以上）
流量输出信号	0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上）
所需电源	+15 VDC（±5％）100 mA，。15 VDC（±5％）250 mA
接头（体型）	标准1 / 4F900 （9 / 16.18 UNF）选项1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等	标准3 / 8F 900 （9 / 16.18 UNF）选项1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等
重量	约1000g	约1500g

标准质量流量控制器

MODEL 3660系列是一款质量流量控制器，主要结构紧凑，成本低廉。 从大学和研究机构的研发应用中，我们作为各种分析仪器和真空设备的标准模型取得了许多成就，我们有各种衍生模型和选项。

标准规格

MODEL 3660系列是一款质量流量控制器，主要结构紧凑，成本低廉。
从大学和研究机构的研发应用中，我们作为各种分析仪器和真空设备的标准模型取得了许多成就，我们有各种衍生模型和选项。