KOSAKA小坂表面粗糙度非接触式探测器
产品型号:半导体行业非接触式探测器表面粗糙度测量机太原
产品品牌:KOSAKA小坂研究所
产品介绍:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年创业以来,一直以使用精密工程学技术被信赖的“技术”为口号,开发、销售商品群。拥有以形状测量机为中心的精密机器、以小坂研究所螺杆泵为中心的流体机器、以及半导体制造相关装置、自动包装机等自动设备三个领域。KOSAKA小坂螺杆泵,KOSAKA LABORATORY螺杆泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

详细介绍


株式会社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年创立的公司,也是日本家发表光学杠杆表面粗糙度计,是一家具有悠久历史与技术背景的业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。

设备特点:

KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系统为多种不同表面提供**的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能基板、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200A 能**可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。


KOSAKA小坂粗糙度仪,粗度计,粗度仪EF800、SE800、3D

KOSAKA小坂粗糙度轮廓一体机  SEF580A、EF800.    SEF580A-G18D

KOSAKA小坛轮廓仪   EF550A、EF800

KOSAKA小坂台阶仪,膜厚仪,薄膜测厚仪KOSAKA小坂圆度仪,真圆度仪,圆柱度仪 

KOSAKA小坂测量仪配件

KOSAKA小坂非接触式表面形貌测量装置

KOSAKA小坂微细深孔测量装置ET200A  、ET4000 、ET8000
KOSAKA小坂晶圆检测装置

KOSAKA小坂关节管测量仪

KOSAKA小坂探针卡检测设备

KOSAKA小坂高精度贴片机SS-N21    SS-L    SS-G41   SS-C   SS-R  SS-B

KOSAKA小坂传感器


非接触式测量允许在不损坏样品的情况下进行测量。 紧凑的光学布置可实现内径的表面纹理测量,这是现有非接触式探测器难以实现的。


  • 由于检测到与焦点的偏差量,因此没有根据形状移动的部件,因此可以进行高速测量。
  • 由于激光的光强度可以分 20 步改变,因此甚至可以测量低反射率工件。
  • 自动停止功能可自动将探测器移动到焦点,无需聚焦
测量范围 12~500微米
分辨率 0.2~0.5纳米
光斑直径在测量范围内 约 1~25μm
测量精度 1%+0.03微米
重复性 10 纳米
激光 *大输出 2 mW,635 nm,1 级 (JIS C 6802:2011)