日本KOSAKA小坂半导体设备
产品型号:半导体行业SEF580A-G18D表面粗糙度和轮廓测量机东莞
产品品牌:KOSAKA小坂研究所
产品介绍:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年创业以来,一直以使用精密工程学技术被信赖的“技术”为口号,开发、销售商品群。拥有以形状测量机为中心的精密机器、以小坂研究所螺杆泵为中心的流体机器、以及半导体制造相关装置、自动包装机等自动设备三个领域。KOSAKA小坂螺杆泵,KOSAKA LABORATORY螺杆泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

详细介绍


株式会社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年创立的公司,也是日本家发表光学杠杆表面粗糙度计,是一家具有悠久历史与技术背景的业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。

设备特点:

KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系统为多种不同表面提供**的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能基板、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200A 能**可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。


KOSAKA小坂粗糙度仪,粗度计,粗度仪EF800、SE800、3D

KOSAKA小坂粗糙度轮廓一体机  SEF580A、EF800.    SEF580A-G18D

KOSAKA小坛轮廓仪   EF550A、EF800

KOSAKA小坂台阶仪,膜厚仪,薄膜测厚仪KOSAKA小坂圆度仪,真圆度仪,圆柱度仪 

KOSAKA小坂测量仪配件

KOSAKA小坂非接触式表面形貌测量装置

KOSAKA小坂微细深孔测量装置ET200A  、ET4000 、ET8000
KOSAKA小坂晶圆检测装置

KOSAKA小坂关节管测量仪

KOSAKA小坂探针卡检测设备

KOSAKA小坂高精度贴片机SS-N21    SS-L    SS-G41   SS-C   SS-R  SS-B

KOSAKA小坂传感器



可以进行两种类型的测量:“表面粗糙度”和“轮廓形状”。 使用触摸屏提供了出色的操作性,例如“切换测量条件”,并且可以快速响应各种工件的测量。

  • 表面粗糙度测量
    • 可以在一次测量中分析不同标准的参数,并且可以顺利过渡到新标准。
  • 轮廓形状测量
    • X 轴上的*大测量采样点数高达 64,000 个点,可实现高分辨率的长距离测量。

表面粗糙度

测量范围/分辨率 Z轴:600μm/0.08nm
进给速度 0.02~10 毫米/秒
唱针 R2μm 0.75 mN 或更低

轮廓形状

测量精度 Z:±0.25%(我们的标准) X:± (1+0.02L) μm 或更小
L:测量长度 (mm)
测量范围 Z:50mm  X:100mm
唱针 R25微米 10~30mN