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日本MIKASA 旋转涂布机/刮涂机/曝光机
产品型号：日本MIKASA米卡萨 半导体设备 MS-B200 旋转涂膜仪
产品品牌：MIKASA米卡萨显影机
产品介绍：

日本MIKASA旋转涂布机/刮涂机/曝光机Mikasa Co.， Ltd. 作为一家对社会有贡献且值得信赖的公司，开发和销售半导体制造设备、检查和测量设备。 通过这一点，我们将努力保护环境和减少环境影响，以成为一家环保型公司为目标，我们将做出以下努力。我们将努力保护地球环境、防止污染和保护环境，并不断改进我们的环境管理体系。
详细介绍
日本MIKASA米卡萨自20世纪60年代以来，日本MIKASA米卡萨开发了各种实验室设备。 **制造商，累计交付超过 7500 台。日本和国内各类光刻胶行业指定品牌，致力于中国光刻胶事业发展。

日本MIKASA株式会社对准曝光机：提供技术支持，安装，培训！

MA-10B、MA-20、MA-60F、M-1S、M-2LF、日本MIKASA株式会社旋转涂布机：MS-B100、MS-B150、MS-B200、MS-B300、MS-B200（密封）、MS-B300（ 密封）日本MIKASA株式会社显影刻蚀装置：
日本MIKASA株式会社半导体光刻胶彩胶
AD-1200、AD-3000、ED-1200、ED-3000、ED-1200、M-1S、M2-LF
MA-10、MA-20、MA-60F、MS-B100、MS-B150、MS-B200
MS-B300、MS-B200密闭型、MS-B300密闭型、PC盖子限位开关的追加加工
PD-1000、防飞溅罩、中部容器、主机上面覆盖物、特氟龙涂层加工、拱架夹具
空气驱动式台式



Mikasa Co.， Ltd.

总裁 Yasuhiro Asano 


PCB的常见问题

1.在*大样品量下，可以使用多厚的基材？
至于厚度，每个型号的*大兼容板尺寸假设为 2 mm 左右。 如需厚度为 2 mm 或更大的电路板，请联系我们。


2.是否可以将旋涂机应用于硅晶片以外的物体？
我们在玻璃、胶片、镜头、光盘等方面都有良好的记录。


3.关于电路板的定心方法。

由于样品台的制造使其与基板的尺寸相同，因此如果外部形状匹配，则可以对中对于 MS-A100 以外的型号，可选择对中夹具（对接）。


4.在旋涂过程中，我在绕过电路板背面时遇到问题。 有没有对策？
它可以通过反冲洗来处理。 虽然它是一个可选机制，但 MS-B150、MS-B200 和 MS-B300 可以支持它。 请联系我们了解详情。


5.可以涂覆水溶性溶剂吗？
还有与基材的粘附问题，因此请先与我们联系。


6.在将光刻胶涂到基材上之前，需要做什么吗？
● HMDS 处理：通用。 这是一种使晶片表面疏水的处理。
● 通过蚀刻去除氧化膜：这是用强酸在晶片上蚀刻氧化硅膜的过程。

● 准分子处理：这是一种通过去除基板表面的有机物并利用短波长紫外线能量和产生的臭氧对表面进行亲水处理来提高玻璃基板表面附着力的处理。


样品架（卡盘支架）

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旋轉塗佈機 - SpinCoater -

成膜管理

■ MIKASA獨家的旋轉控制系統不但可以達到5,000rpm以上的高速旋轉，且旋轉數精度全實現了
±1rpm的高精度
■ 可任意設定旋轉數(0~5,000rpm)和到達旋轉數的時間(0.2sec~999.9sec)，因此可輕易地控制膜厚。
■ 可追加滴下裝置(MS-A150/MS-A200)

膜厚測量裝置

FILMETRICS製   F50

光刻劑

OFPR-800LB(東京應化製)

基板尺寸

6 inch矽晶圓

目標膜厚

1μm

膜厚分布

±0.6%



功能
 採用AC伺服電動機
● 無刷式，不會造成無塵室汚染。
● 減少電動機發熱，也減少因連續使用時的温度上昇造成對膜厚再現性的影響。
● 電力消費低，減低環境的負擔。
■ 擴張程式功能
● *多有100階段程式、可記憶10種模式，更容易使用。
■ 所有機型皆標準配備數位式真空計
■ 方形基板等可設定停止時位置，超方便
■ **裝置機構(真空壓及蓋子)
● 由於薄膜或晶圓容易破裂，而降低吸附壓力時，可以變更**裝置機構（真空）的稼動壓力。
标准机型

規格

型號

MS-B100

MS-B150

基板尺寸

MAXΦ4inch(75×75mm)

MAXΦ6inch(100×100mm)

旋轉數

50~7,500rpm

50~7,000rpm

旋轉精度

±1rpm

±1rpm

蓋子

壓克力

壓克力

**裝置

蓋子

選配

選配

真空

○

○

滴下裝置

不可裝配

選配

使用真空源

-0.08~0.1MPa

-0.08~0.1MPa

電源

AC100~110V 50/60Hz 5A

AC100~110V 50/60Hz 5A

外形尺寸(mm)

260W×230H×330D

360W×302H×435D

 

 

外觀




型號

MS-B200

MS-B300

基板尺寸

MAXΦ8inch(150×150mm)

MAXΦ12inch(200×200mm)

旋轉數

50~5,000rpm

20~5,000rpm

旋轉精度

±1rpm

±1rpm

蓋子

PC

PC

**裝置

蓋子

○

○

真空

○

○

滴下裝置

選配

選配

使用真空源

-0.08~0.1MPa

-0.08~0.1MPa

電源

AC100~110V 50/60Hz 5A

AC200~240V 單相　5A

外形尺寸(mm)

503W×350H×580D

545W×381H×702D

 

 

外觀



MS-B200密闭型

特點

■ 可減低因旋轉而產生的氣流不穩，均勻塗膜
■ EB光刻劑塗佈效果佳
■ 低沸點溶劑塗佈效果佳
■ 可減低光刻劑的使用量



MS-B300密闭型

特點
■ 可減低因旋轉而產生的氣流不穩，均勻塗膜
■ EB光刻劑塗佈效果佳
■ 低沸點溶劑塗佈效果佳
■ 可減低光刻劑的使用量