KOFLOC小岛高性能数字质量流量控制器 EX-201SC-RJ 美萨科技（苏州）有限公司

高精度(±1%瞬时流量)
在一定区间可修改全量程范围
支持多范围、多气体、
在免费提供的软件上操作简单
输出输入可选择0-5V/4-20mA
电源也可以选择DC24V
数字通信RS485(9600bps)
常用性的连接头
Dsub9针插头、RJ-45 模块化插孔×2
S.P.精度保证的高精
度质量流量控制器

标准规格

传落器类型		热式绕线型
适用气体※1		N₂ (可根据气体转换功能适用Air,H2,He,ArO2,CO2,CH4)
流量量程※3 (0℃,tatm)		10、30、50、100、300、500sccm, 1、3、5、10sim
控制范围		2-100%(FS)
响应性		所有量程控制范围1秒以内(within±2%F.S.typical)
精度		±1.0%S.P. (>35%F.S.),0.35%FS. (≤35%F.S.)
重现性		±0.2%FS
动作压差※4		50-300kPa(L:50~149kpa、H:150～300Kpa)
入口*大压力		500kPa(G)
耐压		980kPa(G)
外部泄漏率		1.0×10-⁸Pa ·m³/sec(He)以下
温度	充许环境温度	5~50℃
	精度保证温度	15~35℃
	允许保存温度	-10～60℃
允许环境湿度		10～90%RH(未出现冷凝)
与气体接位部位的材质		SUS316,SUS316L,磁性不锈钢，PTFE,PCTFE,FKM
电气连接		Dsub9针KFC Standard(依据SEMI standard) RJ-45模块化插孔×2
流显设置信号		V:0~5VDC(输入抗阻1MQ以上)/ I:4～20mA((输入抗阻2502以上)
流量输出佰号		V:0～5VDC(小负载电阻10Ω以上) I:4~20mA(小负载电阻5002以上)
数字通信		RS485旋转开关的地址设置可选(MODBUS-RTU9600bps)
所需电源		24VDC(±10%)300mA以下
接头		1/4SW(标准)
安装方位		建议水平方向
重量		MFC:约500g

※1 干燥，不含腐蚀性成分以及灰尘或茅状物的洁净气体
※2没有记载的气体换算成N2, 细则请另外联系销售人员。
※3流量校准单位SCCM.SLM分别表示在0℃,Iatm 时的cc m n.I.m n体积流量可使用专用软件修改气体种类及在指定的全量程(F S:的30～100%
(仅C02,CI4 为30~80%)之问修改全量程范围。
※4动作压差可能会因规格不同而异。

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