KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所半导体实验室
产品型号:SEF800-N台阶仪微观轮廓测量仪器
产品品牌:KOSAKA小坂研究所
产品介绍:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年创业以来,一直以使用精密工程学技术被信赖的“技术”为口号,开发、销售商品群。拥有以形状测量机为中心的精密机器、以小坂研究所螺杆泵为中心的流体机器、以及半导体制造相关装置、自动包装机等自动设备三个领域。KOSAKA小坂螺杆泵,KOSAKA LABORATORY螺杆泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

详细介绍

SEF800-N

表面粗さ測定機と輪郭形状測定機を一体化したもので、粗さうねり評価と形状評価を1台で行うことができます。

  • 表面粗さ測定
    • 各国規格に対応しています。
    • 縦軸と横軸の自動校正機能を装備。
    • 自動で測定から印刷まで実行。
  • 輪郭形状測定
    • 多断面形状解析。
    • 「ワンキー操作」方式の強力なマクロ機能。
    • 測定操作サポート。

表面粗さ

測定範囲/分解能 Z:600μm/0.04nm
送り速さ 0.05~2mm/s
触針 R2μm  0.75mN以下

輪郭形状

測定精度 Z:±(1.0+l0.04× Hl)μm以下  H:変位(mm)
X:±(1.0+0.02L)μm以下  L:測定長さ(mm)
測定範囲 Z:±30mm  X:100mm
触針 R25μm  10~30mN
它集成了表面粗糙度测量机和轮廓形状测量机,一个单元可以进行粗糙度起伏评估和形状评估。

表面粗糙度测量
它支持国家标准。

配备垂直轴和水平轴自动校准功能
自动测量到打印


轮廓形状测量

多裁面形状分析

强大的宏功能,“一键操作”方式
测量操作支持


株式会社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年创立的公司,也是日本一家发表光学杠杆表面粗糙度计,是一家具有悠久历史与技术背景的业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。

设备特点:
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系统为多种不同表面提供**的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能基板、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200A 能**可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。


KOSAKA小坂粗糙度仪,粗度计,粗度仪

KOSAKA小坂粗糙度轮廓一体机

KOSAKA小坛轮廓仪

KOSAKA小坂台阶仪,膜厚仪,薄膜测厚仪KOSAKA小坂圆度仪,真圆度仪,圆柱度仪

KOSAKA小坂测量仪配件

KOSAKA小坂非接触式表面形貌测量装置

KOSAKA小坂微细深孔测量装置
KOSAKA小坂晶圆检测装置

KOSAKA小坂关节管测量仪

KOSAKA小坂探针卡检测设备

KOSAKA小坂高精度贴片机

KOSAKA小坂传感器