KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所半导体实验室
产品型号:全自动台阶仪ET200针对半导体硅
产品品牌:KOSAKA小坂研究所
产品介绍:

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年创业以来,一直以使用精密工程学技术被信赖的“技术”为口号,开发、销售商品群。拥有以形状测量机为中心的精密机器、以小坂研究所螺杆泵为中心的流体机器、以及半导体制造相关装置、自动包装机等自动设备三个领域。KOSAKA小坂螺杆泵,KOSAKA LABORATORY螺杆泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。

详细介绍

SEF580A-G18D

“表面粗さ”と“輪郭形状”の2つの測定が可能です。タッチパネル採用で「測定条件の切り替え」等の操作性に優れ、多種多様なワークの測定に素早く対応できます。

  • 表面粗さ測定
    • 1回の測定で規格が異なるパラメータの解析ができ、新しい規格への移行がスムースに行えます。
  • 輪郭形状測定
    • X軸の*大測定サンプリング数が64,000点と多く、高分解能で長距離の測定が可能です。

表面粗さ

測定範囲/分解能 Z:600μm/0.08nm
送り速さ 0.02~10mm/s
触針 R2μm  0.75mN以下

輪郭形状

測定精度 Z:±0.25%(弊社規格)  X:±(1+0.02L)μm以下
L:測定長さ(mm)
測定範囲 Z:50mm  X:100mm
触針 R25μm  10~30mN
ET200是一款高精度表面形貌测量仪器,能够测量台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度及薄膜应力等参数。配备多种型号探针,具备程序控制接触力和垂直范围功能,并配有彩色CCD摄像头进行原位观测。该设备采用机械直动式设计,具有优异的再现性和线性度,Z方向分辨率达到0.1nm,能实现长达100mm的长距离测量且对样品无损伤。


株式会社小坂研究所(KOSAKA)是于 1950 年创立的公司,也是日本一家发表光学杠杆表面粗糙度计,是一家具有悠久历史与技术背景的业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。


设备特点:
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系统为多种不同表面提供**的形貌分析,包括半导体硅片、太阳能基板、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石(钻石)探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200A 能**可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。



KOSAKA小坂粗糙度仪,粗度计,粗度仪

KOSAKA小坂粗糙度轮廓一体机

KOSAKA小坛轮廓仪

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KOSAKA小坂测量仪配件

KOSAKA小坂非接触式表面形貌测量装置

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KOSAKA小坂晶圆检测装置

KOSAKA小坂关节管测量仪

KOSAKA小坂探针卡检测设备

KOSAKA小坂高精度贴片机

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