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KOSAKA 小坂研究所半导体实验室
产品型号：DSF-L800台阶仪台阶仪微细形状测定机
产品品牌：KOSAKA小坂研究所
产品介绍：

KOSAKA LABORATORY LTD小坂研究所自1950年创业以来,一直以使用精密工程学技术被信赖的“技术”为口号,开发、销售商品群。拥有以形状测量机为中心的精密机器、以小坂研究所螺杆泵为中心的流体机器、以及半导体制造相关装置、自动包装机等自动设备三个领域。KOSAKA小坂螺杆泵,KOSAKA LABORATORY螺杆泵,KOSAKA小坂泵。小坂研究所泵。
详细介绍

DSF-L800

高い分解能で広いダイナミックレンジの測定を可能にした、デジタル表面形状・粗さ測定機です。

  • 変位検出器にデジタルセンサを組み込み、“輪郭形状”と“表面粗さ”をワンスキャンで同時測定が可能。
  • より高度な解析機能、プラトー表面解析ソフトと接触点フィルタを標準装備。
  • 検出器過負荷停止機能標準装備。
Z分解能/測定範囲 0.75nm / ±6mm
Z検出方式  半導体レーザスケール
触針 R2μm  0.7mN
解析項目 形状解析（要素、スカラ量、統計量、マスタ比較、公差判定）
表面粗さ（JIS、ISO、DIN、ANSI、BS）
表面うねり（JIS）




株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年创立的公司，也是日本一家发表光学杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。

设备特点：
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系统为多种不同表面提供**的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能基板、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200A 能**可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。


KOSAKA小坂粗糙度仪，粗度计，粗度仪

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表面粗度测定机:
SE300,SE500,SE600,SE610,SE600K,SE600K31
SE700.SE4000.
表面粗度,轮廓形状测定机:
SEF580-G18,SEF580--G18D,SEF580-M50,SEF580-M58,SEF580-M58D.SEF680.SEF680K
细微形状测走机:
ET200,ET4000,ET10000
表面形状,粗度测定机:
DSF600.DSF900.
轮廓形状测定机:
EF550-G18,EF550-G18D,EF550-M50,EF550-M58,EF550-M58D,EF650,EF650D,REF100
真圆度,圆头形状测定机:
EC600,EC1550H,EC1650H,EC1850H,EC2150,EC2500H,EC2700H,EC2500HF,EC2700
EC3300PEC3600A,EC3600B,EC3600CEC4100H，EC5100H,EC6100