SIGMAKOKI西格玛光机10nm分辨率闭环控制平台美萨科技（苏州）有限公司

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SIGMAKOKI西格玛光机10nm分辨率闭环控制平台

产品型号：NFS180-300PX

产品品牌：SIGMAKOKI西格玛光机

产品介绍：

使用5相步进电机驱动的高分辨率闭环控制平台，内置光栅尺，具有高重复定位精度和高分辨率。 10nm分辨率的平台有8种台面尺寸可供选择。

详细介绍

SIGMAKOKI西格玛光机10nm分辨率闭环控制平台 / NFS180-300PX

使用5相步进电机驱动的高分辨率闭环控制平台，经CE和UKCA认证。内置光栅尺，具有高重复定位精度和高分辨率。
10nm分辨率的平台有8种台面尺寸可供选择。

由于采用滚珠丝杠驱动，与压电平台相比，可移动距离较长，有各种行程和台面尺寸可供选择。
从提高可用性的观点出发，实现了基于AutoConfig功能的平台分辨率自动识别。
提供NFS系列闭环控制平台用控制器SHRC-203。

※1连接到SHR控制器后，AutoConfig功能自动设定分辨率。
※2 启用多点纠错功能时的数值。
※3 在微小范围内进行重复定位精度测量（ISO）所得到的结果。 NFS-PX系列10nm闭环控制平台测量步长（间距）：50nm

注意
请在温度变化幅度不大的环境中使用。（推荐：23±1℃）
请尽量在振动较小的环境中使用。或采取一定的防振措施。
请在没有油雾的环境中使用。光栅尺如果被污染的话可能会产生误差。