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SIGMAKOKI西格玛光机X轴手动纳米平台
产品型号： TADC-651SR25-M6PA
产品品牌：SIGMAKOKI西格玛光机
产品介绍：

通过在X轴手动平台本体上加装压电驱动器来实现20nm以下的精密微调。适用于需要高分辨率定位机能的手动平台组件或系统。台面尺寸有25x25，40x40，60x60mm，65x65mm等三种。
详细介绍
SIGMAKOKI西格玛光机X轴手动纳米平台 / TADC-651SR25-M6PA


通过在X轴手动平台本体上加装压电驱动器来实现20nm以下的精密微调。适用于需要高分辨率定位机能的手动平台组件或系统。台面尺寸有25x25，40x40，60x60mm，65x65mm等三种。

无需对手动纳米平台操作箱进行设定即可进行微调。可同时使用旋钮和微分头进行微调和粗调，互不影响。
微调需要通过纳米平台手动操作箱(PASC)来进行。手动纳米平台附有一条用于连接纳米平台手动操作箱的2m长电缆。

注意
安装平台时，一定要注意不要碰撞微分头的对侧挡板，以防对压电驱动机构造成破坏。
关掉纳米平台手动操作箱(OASC)电源后，压电微调位置会发生变化。

台面尺寸 65×65mm
手动微调*小分辨率（参考值） 20nm以下
微分头*小读数 0.01mm
微分头的安装位置 侧面
扭矩刚度/俯仰 0.3″/N・cm
扭矩刚度/转动 0.3″/N･cm
导轨形式 TSD导轨
移动精度/直线度 3μm
移动平行度 10μm
行程/周 0.5mm
*大承载力矩/俯仰 4.9N・m
*大承载力矩/偏摆 4.9N・m
*大承载力矩/转动 4.9N・m
自重 0.36kg
主要材料 铝合金
粗调行程 ±12.5mm
承载能力 49N(5kgf)
微调行程 30µm以上
表面处理 黑色氧化
平行度 30μm