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大日本科研（DNK）wafer爆光灯房
产品型号：MA-5301ML
产品品牌：DNK大日本科研
产品介绍：

大日本科研（DNK）是一家日本的科技公司，其正式名称为株式会社大日本科研（Japan Science Engineering Co., Ltd.）。以下是关于该公司的详细介绍：
详细介绍

大日本科研（DNK）是一家日本的科技公司，其正式名称为株式会社大日本科研（Japan Science Engineering Co., Ltd.）。以下是关于该公司的详细介绍：
主要特长

  • 搭载本公司**的镜面光学系统爆光灯房（LAMP HOUSE）。从而实现了照射面内的均匀性以及高照度。
  • 采用本公司**的同轴对位方式和高速图像处理技术, 从而实现了高精度对位。还支持IR方式和背面方式。
  • 通过本公司**的光学式间隙传感器，可在非接触状态下高速、**的设定掩膜和基板间的近接间隙。
  • 搭载有掩膜更换机。*多可自动更换20张掩膜。
  • *多可搭载3台片仓（Load port）。
Ø300mm 兼容曝光机

主要规格

MA-5301ML
Wafer尺寸 Ø300ｍｍ
对位 非接触预对位～自动对位
光源 超高压水银灯：3.5kW
本体尺寸 W 2450 × D 2400 × H 2300 mm