能够对 BEOL 工艺中使用的含有微量元素的多组分化学溶液进行浓度管理*1.

ppm 级的低浓度成分*2在化学溶液中无需任何预处理即可检测到。只需在制造现场安装一体化系统，整合在一个独立的机柜中即可开始使用*3.

*1 “Back End of Line”的缩写，指半导体前端工艺中的布线形成过程。
*2 ppm = 百万分之一。对于液体成分，1 ppm 意味着 1 升液体中存在 1 毫克成分。
*3 SEMI S2认证。

【Basic Specification】