特色

• Otsuka大塚整合头部薄膜厚度测量所需的功能
• 通过微观光谱法实现高精度的**反射率测量（多层厚度，光学常数）
• 1点1秒以内的高速测量
• 在显微镜下实现宽波长范围的光学系统（紫外~近红外）
• 带区域传感器的**机制
• 一个简单的分析向导，即使是初学者也能进行光学常数分析
• 用于可定制测量序列的宏函数
• 复数光学常数可以进行分析（多点分析方法）
• 300毫米级兼容
• 游戏提供多种自定义选项

测量序列可以根据样品的形状和部分轻松定制

雇主

类型	OPTM-A1	OPTM-A2	OPTM-A3
波长范围	230~800 nm	360~1100 nm	900~1600 nm
胶片厚度范围*1	1 nm~35 μm	7 nm~49 μm	16 nm~92 微米
样本量*2	*高可达200×200×17毫米
斑点直径	φ5、φ10、φ20、φ40 μm

*上述为带有自动XY级的规范。

*1 薄膜厚度范围为SiO₂它将被改造。

*2 如需300毫米级，请另行联系我们。

 

类型	AutomaticXY 阶段类型	固定帧类型	嵌入式磁头类型
尺寸 （W×D×H）	556×566×618毫米	368×468×491毫米	210×441×474毫米 ，90×250×190毫米*
重量	66公斤	38公斤	23公斤 ，4公斤*
*大功耗	AC100V±10V 500VA	AC100V±10V 400VA

*交流/直流电源单元

 

构型图

AutomaticXY 阶段类型

 

嵌入式磁头类型