OTSUKA大塚电子MCPD-9800中国代理多通道光谱仪这是一款多通道多通道光谱仪，适用于紫外到近红外范围。 除了显微光谱、光源发光、透射和反射测量外，它还可以与软件结合使用，以评估物体的颜色和薄膜厚度。

OTSUKA大塚电子MCPD-9800拥有3个波长范围内的12种探测器阵容，并提出*合适的探测器，以满足客户需求和测量应用。

MCPD-9800它配备了通用USB端口和LAN通信，可以支持从远程位置进行远程测量，从而扩展了便利性和广泛的测量应用。

OTSUKA大塚电子MCPD-9800使用512通道或1024ch检测元件和探测器主体的内部存储器，可以每5毫秒（MCPD-9800）以高灵敏度和精度测量不断变化的紫外，可见光和近红外发射光谱。

• 可在紫外可见光（300~800nm）波长范围内进行椭圆参数测量。
• 能够对纳米量级的多层薄膜进行膜厚分析
• 通过 400 个或更多通道的多通道光谱快速测量椭圆光谱
• 用于薄膜详细分析的可变反射角测量
• 通过创建光学常数数据库和添加配方注册功能来提高可操作性

• 椭圆参数 （tanψ， cosΔ） 测量
• 光学常数（n：折射率，k：消光系数）分析
• 膜厚分析

• 半导体晶片
  栅极氧化薄膜、氮化物薄膜
  SiO₂，Si x Oy，SiN，SiON，SiNx，Al₂O₃罪_xO_y，多晶硅，硒化锌，BPSG，TiN
  光刻胶光学常数（波长色散）
• 化合物半导体
  铝_x加语_（1-x）作为多层，非晶硅
• FPD
  取向膜
• 各种新材料
  DLC（类金刚石碳）、超导薄膜、磁头薄膜
• 光学薄膜
  TiO₂，SiO₂，防反射膜
• 在 G 线 （436nm）、H 线 （405nm） 和 I 线 （365nm）
  等波长下进行光刻 N，K 评估