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OTSUKA大塚电子晶圆非破坏性测厚仪
产品型号:SF-3/800 SF-3/1300
产品品牌:Otsuka大塚
产品介绍:

Otsuka大塚集团成立于1921年,总部位于日本,目前在全球拥有超过150家子公司,员工总数超3万人,年销售额约770亿元人民币(2010年数据)。其业务范围包括医药、医疗器械、食品、电子设备等,并通过全球化布局覆盖多个市场。

详细介绍

OTSUKA大塚电子MCPD-9800中国代理多通道光谱仪这是一款多通道多通道光谱仪,适用于紫外到近红外范围。 除了显微光谱、光源发光、透射和反射测量外,它还可以与软件结合使用,以评估物体的颜色和薄膜厚度。

OTSUKA大塚电子SF-3晶圆非破坏性测厚仪SF-3以超高速实时和高精度测量晶圆和树脂的非接触研磨和抛光过程。

OTSUKA大塚电子SF-3/200 SF-3/300 SF-3/800 SF-3/1300

OTSUKA大塚电子SF-3特征:


  • 非接触式、非破坏性厚度测量
  • 反射光学元件(可从一侧接触进行测量)
  • 高速(*快5kHz)和实时评估
  • 高稳定性(重复精度0.01%以下)
  • 耐粗糙
  • 可在任何距离使用
  • 支持多层结构(*多 5 层)
  • 内置NG数据抑制功能

它支持广泛的薄膜厚度范围,并实现高波长分辨率。
大冢电子的独特技术被封装在一个紧凑的机身中。

 

特点2:高速响应

由于它甚至可以以**的间距进行测量,即使是移动的测量对象,
它也是工厂生产线的理想选择。


特点3:与各种表面条件的样品兼容

通过约φ20μm的微小光斑,即使在各种表面条件下也可以
测量厚度。

 

特点4:兼容各种环境

由于可以从*远200 mm的距离进行测量,因此可以根据目的和应用构建
测量环境。

 

测量项目
  • 厚度测量(5层)

 

  • 各种厚膜厚度

 

OTSUKA大塚电子SF-3/200 SF-3/300 SF-3/800 SF-3/1300