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OTSUKA大塚电子晶圆非破坏性测厚仪
产品型号：MCPD-6800(2285C)蚀刻工艺实验室
产品品牌：Otsuka大塚
产品介绍：

Otsuka大塚集团成立于1921年，总部位于日本，目前在全球拥有超过150家子公司，员工总数超3万人，年销售额约770亿元人民币（2010年数据）。其业务范围包括医药、医疗器械、食品、电子设备等，并通过全球化布局覆盖多个市场。
详细介绍

OTSUKA大塚电子晶圆非破坏性测厚仪MCPD-6800(2285C)
 膜厚测量范围65nm～92μm（换算为SiO2）

● *短曝光时间1ms~※根据规格

● 由于是柔性纤维光学系统，容易组装到半导体工艺装置中

● 可从上层远程控制

● *适合于研磨中膜厚终点检测

基本配置

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装置组装示意图


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测量案例

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适应过程示例

CMP工艺

蚀刻工艺

成膜工艺

等等