株式会社小坂研究所（KOSAKA）是于 1950 年创立的公司，也是日本一家发表光学杠杆表面粗糙度计，是一家具有悠久历史与技术背景的业厂商,主要有测定/自动/流体三大部门。其中测定部门为具代表性单位且在日本精密测定业占有一席无法被取代的地位。
设备特点：
KOSAKA ET200A 基于 Windows 操作系统为多种不同表面提供**的形貌分析，包括半导体硅片、太阳能基板、薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子、精加工表面、生物医学器件、薄膜/化学涂层、平板显示、触摸屏等。使用金刚石（钻石）探针接触测量的方式来实现高精度表面形貌分析应用。ET200A 能**可靠地测量出表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种表面形貌技术参数。
KOSAKA小坂粗糙度仪，粗度计，粗度仪EF800、SE800、3D
KOSAKA小坂粗糙度轮廓一体机 SEF580A、EF800. SEF580A-G18D
KOSAKA小坛轮廓仪 EF550A、EF800
KOSAKA小坂台阶仪，膜厚仪，薄膜测厚仪KOSAKA小坂圆度仪，真圆度仪，圆柱度仪
KOSAKA小坂测量仪配件
KOSAKA小坂非接触式表面形貌测量装置
KOSAKA小坂微细深孔测量装置ET200A 、ET4000 、ET8000
KOSAKA小坂晶圆检测装置
KOSAKA小坂关节管测量仪
KOSAKA小坂探针卡检测设备
KOSAKA小坂高精度贴片机SS-N21 SS-L SS-G41 SS-C SS-R SS-B
KOSAKA小坂传感器
真圆度圆柱度测定机EC1550H 产品参数
|
机构 · 方式
|
多孔质静压空气轴承 · 工作台回转式
|
半径方向
回转精度
|
(0.02+0.0004H)um
H:工作台面上算起的高度(mm)
|
*大测定径
*大测定高度
|
368mm
外径420mm, 内径270mm
|
|
积载重量/*大装载径
|
25kg/Φ450mm
|
|
上下移动量
|
250mm (使用b触针臂时）
|
工作台尺寸
|
160mm
|
一、**的one touch全姿势调整传感器：
利用长探针杆臂以及新开发“one touch”式传感器holder可自由进入深穴、平面、倾斜面、内径、外径……等测定点。软件具有提醒功能，可实现编程后一次性的测量样品所有参数。另有防止探针落差过大卡针之保护机构。
二、R/Z轴自动停止装置R/Z axis automatic stop function：
横臂方向（半径方向）或上下方向均有自动停止机能，利用伺服控制，可自动找出*适合测定位置，几乎无需手动微调整，操作性大幅上扬。
三、缺陷图形指定：
此指定方式，可从直线图形上，任何位置直接指定之，使操作上更加方便，无需细微调整。
四、**的多孔质静压空气轴承系统
此指定方式，可从直线图形上，任何位置直接指定之，使操作上更加方便，无需细微调整。
Kosaka的多孔质静压空气轴承系统工作台，由于特殊设计，有以下特点：
1、具高刚性高负荷能力，故对偏负荷以及外部震动有强力之抑制能力。
2、压力分布性均匀、安定性**的情况下，可得到高回转精度。
3、空气消耗量非常之少（为传统的1/3），稳定度高并可达经济之效果。
综合以上三项特点，即是为了达到高精度，安定性**之测量结果的坚强保证。
